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IBAD技术制备薄膜改性碳钢的耐蚀性研究

翁端 , 王日中 , 李西峰 , 张国卿

腐蚀科学与防护技术

利用IBAD技术在核材料模拟基体(A3钢)上制备ZrN和ZrC薄膜,为作对比又用射频溅射法制备Teflon薄膜.对不同条件下获得的镀膜试样进行耐腐蚀性能测试.结果表明:各种膜层的耐腐蚀性能都较好;对同种材料其膜层的耐腐蚀性能随厚度的增加而增强;ZrC膜层的耐腐蚀性能远好于ZrN和Teflon膜层.

关键词: IBAD技术 , thin film , corrosion , surface modification

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