李小平
,
汪凯
,
张春恒
,
雒敏
,
马沁
,
王世民
材料开发与应用
介绍了一种由钽及其合金管材加工而成的废酸浓缩回收设备的生产工艺,以及该设备中用于加热和冷却的钽制盘管换热器的生产工艺.并通过与传统废酸回收设备的经济效益对比,得出该钽制废酸回收设备在使用性能和效率上具有传统设备无法比拟的优势,具有显著的经济效益、环境效益和社会效益.推广应用前景广阔.
关键词:
钽制设备
,
钽盘管
,
耐腐蚀性
朱军
,
张亚军
,
李桂鹏
,
张春恒
,
张全
材料开发与应用
深冲铌带主要应用于电解电容器行业,深冲铌带不但要满足内部晶粒尺寸的要求,而且要满足其后续加工的力学性能要求.深冲铌带要经过多次的拉伸,对铌带的生产工艺提出了很高的要求.本文研究了锻造、轧制、热处理3个关键工艺,确定了能够满足电解电容器行业用深冲铌带的生产加工工艺.
关键词:
深冲铌带
,
晶粒尺寸
,
锻造工艺
,
轧制工艺
,
热处理工艺
李兆博
,
张春恒
,
李桂鹏
,
同磊
材料开发与应用
doi:10.3969/j.issn.1003-1545.2010.06.009
铌靶材主要应用于表面工程材料,如船舶、化工、液晶显示器(LCD)以及耐热、耐腐蚀等镀膜行业.作为被溅射的基材,为了获得均匀一致的薄膜淀积速率,对溅射铌靶材的主要要求是均匀的组分、合适的颗粒尺寸以及具体的结晶学取向.本文主要研究在实际生产中,锻造工艺、轧制工艺以及热处理工艺对溅射镀膜用铌靶材晶粒尺寸的影响.通过多次试验,得到合理的锻造工艺、轧制工艺以及热处理工艺,从而对铸锭晶粒进行彻底的破碎和再结晶,最终得到晶粒尺寸小于100μm,且均匀一致的等轴晶组织,满足了溅射镀膜用铌靶材要求的晶粒尺寸和均匀等轴晶组织.
关键词:
溅射镀膜铌靶材
,
晶粒尺寸
,
等轴晶组织
张春恒
,
吴红
,
李桂鹏
,
同磊
,
汪凯
,
李兆博
材料开发与应用
doi:10.3969/j.issn.1003-1545.2010.06.008
磁控溅射吸附器应用于半导体制造的金属化工艺,其作用是在溅射过程中起到聚焦和净化的作用.由于需要在表面进行均匀一致的滚纹处理,所以对其坯料的板形以及同板差有非常严格的要求,同时对内部组织也有较高要求.为了制备满足其要求的钽板,本文主要从锻造工艺以及轧制工艺进行讨论,最终得到适宜于批量生产的加工工艺,使钽板满足小于0.15mm的同板差的要求,同时晶粒尺寸在200～300μm之间,并且均匀一致.
关键词:
溅射
,
同板差
,
晶粒度
