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陈亮 , 张曙 , 邓书康 , 陈刚 , 高立刚 , 阚家德 , 杨宇
功能材料
本文采用离子束溅射的方法制备了不同衬底温度下的BST薄膜,用X射线、Raman、SPM等技术对晶体结构及微观形貌进行表征,研究了离子束溅射制备BST的工艺.
关键词: 钛酸锶钡 , 薄膜 , 离子束溅射 , 晶体结构
王国宁 , 杨宇 , 孔令德 , 姬荣斌 , 张曙
硅酸盐通报 doi:10.3969/j.issn.1001-1625.2007.04.020
用射频磁控溅射在普通玻璃衬底上制备CdTe薄膜.采用XRD对制备出的薄膜进行分析研究;并讨论了溅射气压、溅射功率对薄膜结晶性的影响.进一步研究表明:溅射气压低时溅射功率对CdTe薄膜结晶性的影响程度比溅射气压高时要大;溅射功率低时溅射气压对CdTe薄膜结晶性的影响程度比溅射功率高时要小.并对造成上述结果的机理进行了初步的理论探讨.
关键词: 磁控溅射 , CdTe薄膜 , 功率 , 气压 , 结晶性
