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锗表面二维亚波长结构的反应离子刻蚀制备

李阳平 , 陈海波 , 刘正堂 , 武倩 , 郑倩 , 张淼 , 徐启远

材料科学与工艺

为了获得具有金字塔结构的二维亚波长结构表面,提高其高宽比,用掩模曝光光刻及反应离子刻蚀技术,以SF6和02为反应气体,在Ge衬底上制备了二维亚波长结构,用扫描电镜对刻蚀图形的形貌进行了观察,研究了功率、气压、气体流量及掩模图形对刻蚀图形的影响,结果表明:刻蚀图形腰部被优先刻蚀,形成凹陷的侧壁轮廓;02流量增大有利于在侧壁形成保护层,从而减小腰部刻蚀、增大顶部及根部刻蚀;功率及气压过大或过小均会使侧壁刻蚀较大;方形图案比圆形图案掩模更有利于刻蚀出深度较大的亚波长结构。

关键词: , 光刻 , 反应离子刻蚀 , 亚波长结构 , 掩模

南运河生态修复水体有机污染物的污染特征

王乙震 , 周绪申 , 林超 , 张宇 , 韩朝光 , 张淼 , Brigitte Vincon-Leite

环境化学 doi:10.7524/j.issn.0254-6108.2016.02.2015090301

通过向水体投加高效微生物净水剂和生物复合酶生态修复南运河受污染水体.为研究南运河生态修复水体中持久性有机氯农药(Organochlorine pesticides,OCPs)、多环芳烃(Polycyclic aromatic hydrocarbons,PAHs)和有机磷农药(Organophosphorus pesticide,OPPs)污染特征,监测了南运河及生态修复试验河道水体中15种OCPs、17种PAHs和18种OPPs的含量.结果表明,南运河水体及试验河道表层水体中共检测出3种六六六类(Hexachlorocyclohexanes,HCHs)污染物,分别是α-六氯环己烷(α-HCH)、β-六氯环己烷(β-HCH)和林丹(γ-HCH),OCPs总量变化范围是1.11-1.78 ng·L-1;共检测出萘(Naphthalene,Nap)、苊(Acenaphthene,AcP)、苊烯(Acenaphthylene,AcPy)等11种PAHs,PAHs总量变化范围是52.76-60.28 ng·L-1;共检测出3种OPPs,分别是甲胺磷(Methamidophos,MTP)、敌敌畏(Dichlorvos,DDVP)、和甲基异柳磷(Isofenphos-methyl,IPM),OPPs总量变化范围是6.51-17.50 ng·L-1.微生物净水剂和生物复合酶的投加基本上不能降解水体中的OCPs和PAHs,而对水体中OPPs的降解有一定作用,降解率在19.6%-62.8%之间,平均降解率为35.2%.高效微生物净水剂和生物复合酶降解河道水体中持久性OCPs、PAHs和OPPs的机理有待进一步研究,该技术对河流、湖泊有机污染物生态修复实际应用具有一定的借鉴作用.

关键词: 生态修复 , 污染特征 , 有机氯农药 , 多环芳烃 , 有机磷农药 , 南运河

大面积SiC纳米线网的合成及形成机理

孟阿兰 , 李镇江 , 张灿英 , 蔺玉胜 , 张淼

稀有金属材料与工程

利用气相化学反应法,在相对低的温度下,于自制石墨反应室中合成出二维半导体β-SiC纳米线网.该方法使用球磨及研磨混合后的Si和SiO2混合粉体及C3H6气体为原材料,通过调整基片与原料混合粉在石墨反应室的摆放位置、C3H6通入流量和时间、保温时间及其它工艺参数,可获得二维半导体β-SiC纳米线网.场发射扫描电镜、能量损失谱、X-Ray衍射、高分辨透射电镜结果表明:纳米线彼此相连形成二维纳米线网,并且纳米线的直径大约在20 nm~70nm左右.值得注意的是绝大多数纳米线网的连接点是由3根纳米线交汇而成.纳米线是具有立方结构的β-SiC,其生长方向是〈111〉,并且存在大量面缺陷.最后对这种新型二维SiC纳米线网的形成机理进行了探讨.

关键词: SiC纳米线网 , 合成 , 形成机理

E-GFRP单向板疲劳性能及失效机制的实验研究

石文静 , 胡伟平 , 张淼 , 孟庆春

复合材料学报

对铺设角分别为0°、30°、45°、90°的玻璃纤维增强不饱和聚酯树脂单向板进行拉-拉疲劳试验,得到不同铺设角玻璃纤维增强不饱和聚酯树脂(GFRP)单向板疲劳数据,通过分析不同铺设角单向板中值S-N曲线及正则应力-寿命曲线特点,得到了单向板疲劳性能随铺设角变化的关系。并且基于对不同铺设角单向板疲劳断口的宏观及微观形貌的分析,研究了铺设角对单向板的疲劳损伤机制、失效模式的影响。分析表明,对应于不同的铺设角,单向板存在不同的失效机制,从而导致不同形式的损伤模式。

关键词: E-GFRP , 角铺设单向板 , 疲劳 , 失效模式 , 失效机制

Mg含量对MgZnO薄膜光学性质的影响

高丽丽 , 徐莹 , 张淼 , 张跃林 , 姚斌

液晶与显示 doi:10.3788/YJYXS20142903.0350

利用射频磁控溅射技术,高纯的氩气作为溅射气体,分别选用不同Mg含量的MgxZn1-xO陶瓷靶材,在石英衬底上生长六角纤锌矿结构的MgxZn1-xO薄膜,并对薄膜进行了后期热退火处理.研究了Mg含量对MgxZn1-xO薄膜光学性质的影响.实验结果显示,随着Mg含量的增加,薄膜的带隙变宽;光致发光光谱中近带边发射中心蓝移,近带边紫外发射与可见光区深能级发射强度比值减小,发光质量下降;拉曼光谱仍然保持着ZnO的拉曼振动模式,但随着Mg含量的增加,E2high振动峰逐渐展宽,峰型对称性变差.分析表明,随着Mg的合金化,薄膜中产生了更多的杂质缺陷,结晶质量下降.

关键词: 射频磁控溅射 , MgZnO薄膜 , Mg含量 , 光学性能

N掺杂p型MgZnO薄膜的制备与性能研究

高丽丽 , 刘军胜 , 张淼 , 张跃林

液晶与显示 doi:10.3788/YJYXS20142904.0499

利用磁控溅射设备,Mg0.04Zn0.96O陶瓷靶材,以高纯的氮气与氩气混合气体作为溅射气体,在石英衬底上沉积获得了N掺杂p型Mg0.07Zn0.93O薄膜,薄膜的电阻率为21.47 Ω·cm,载流子浓度为8.38×1016 cm 3,迁移率为3.45 cm2/(V·s).研究了该薄膜的结构与光学性能.实验结果显示,其拉曼光谱中出现了位于272和642 cm 1左右与No相关的振动模.低温光致发光光谱中,可以观察到位于3.201,3.384和3.469 eV的3个发光峰,其中位于3.384 eV的发光峰归因为导带电子到缺陷能级的复合发光,而位于3.469 eV的发光峰归因为受主束缚激子(A0X)的辐射复合,这说明该N掺杂MgZnO薄膜的空穴载流子主要来自No受主的贡献.

关键词: 射频磁控溅射 , MgZnO薄膜 , N掺杂 , p型

吉林省板庙子金矿床地质特征及流体包裹体研究

冯罡 , 张淼 , 高明珠 , 王一存 , 王可勇

黄金 doi:10.11792/hj20160104

板庙子金矿床是位于吉林省白山地区一重要的大型岩金矿床. 通过对矿床地质特征的研究表明,该矿床热液矿化阶段可划分为的4个阶段,金的主要富集成矿阶段为Ⅱ、Ⅲ阶段. 流体包裹体研究表明:矿区成矿Ⅱ阶段石英中主要发育气液二相包裹体,包裹体均一温度为190 . 8 ~236. 4 ℃,盐度为3. 6 % ~5. 9 %,密度为0. 87~0. 92 g/cm3;成矿Ⅲ阶段重晶石矿物中主要发育气液二相及单液相2种类型的包裹体,包裹体均一温度为151 . 9~178 . 9 ℃,盐度为1 . 7 % ~4 . 1 %,密度为0. 92~0. 94 g/cm3. 板庙子金矿床成矿流体为中低温、低盐度、较高密度的NaCl-H2 O体系热液,主要来自于大气降水,属中低温热液型金矿床.

关键词: 地质特征 , 流体包裹体 , 板庙子金矿床 , 吉林省

微流体技术光/热聚合可控制备Janus核-壳微球

吴林军 , 张淼 , 常振旗

材料科学与工程学报 doi:10.14136/j.cnki.issn1673-2812.2016.01.002

Janus核壳微球是一种结合Janus微球以及核壳微球结构特点的复杂结构微球.它独特的性能在某些领域例如药物的定向输送方面具有潜在的应用.然而由于结构的复杂性以及传统制备方法的局限性,该微球的制备存在一定挑战,目前国内外尚无制备该微球的报道.本文利用基于毛细管的微流体控制技术,结合光/热聚合等手段,成功制备出了单分散的Janus核壳微球,并实现了对其大小、形貌以及核数目的控制.

关键词: 微流体技术 , 光热聚合 , 可控 , Janus核壳微球

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