张琳琪
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夏琳
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彭进
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邹文俊
表面技术
目的：研究 pH 值以及表面活性剂种类对 CMP 抛光液稳定性及抛光性能的影响。方法向硅溶胶中加入酸性或碱性 pH 值调节剂，配制不同 pH 值的 CMP 抛光液；通过添加不同类型的表面活性剂，研究表面活性剂对抛光液的稳定机理。结果硅溶胶 CMP 抛光液 pH 值为9.5时，加入非离子表面活性剂，抛光90 min 后，铝合金表面粗糙度降低了55.4%，光亮度增加了131%，抛光质量较好。结论弱碱环境下，抛光液的稳定性和抛光性能优良，非离子表面活性剂有利于 CMP 抛光液的稳定性。
关键词:
硅溶胶
,
CMP 抛光液
,
pH 值
,
表面活性剂
郑红娟
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赵志伟
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张琳琪
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彭进
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邹文俊
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张爱民
功能材料
以工业级偏钛酸、醋酸锌和尿素为原料,采用一步均匀沉淀法,在600℃、2h条件下,成功制备出ZnO-TiO2纳米复合材料.采用X射线衍射仪(XRD)、透射电镜(TEM)和X射线光电子能谱(XPS)测试手段对反应产物进行了分析.实验结果表明,400℃时,只有锐钛型TiO2的衍射峰;500℃时,开始出现ZnO的衍射峰;600℃以上,开始出现金红石型TiO2和ZnTiO3的衍射峰,并且随着煅烧温度的升高,衍射峰强度逐渐增强.600℃制备的复合粉体结晶完整,无明显团聚现象,颗粒呈球形或类球形,平均粒径在20nm左右.复合粉体表面主要由Zn、Ti、O和C 4种元素组成,Zn和Ti元素主要以ZnO、TiO2和ZnTiO3形式存在.在室内自然光条件下,ZnO-TiO2纳米复合材料可以在一定程度上降解甲基橙.
关键词:
ZnO-TiO2
,
纳米复合材料
,
制备
,
光催化性能
