欢迎登录材料期刊网
张生俊 , 崔贲涛 , 王波 , 严辉 , 陈光华
材料科学与工程学报 doi:10.3969/j.issn.1673-2812.2000.z2.024
cBN薄膜的CVD制备是一个很受关注的课题.本文研究了ECR-CVD系统的等离子体特性,并在Si(100)衬底上进行了BN薄膜的生长实验,初步获得了cBN含量约为23.8%的BN薄膜;分析了H2在CVD生长cBN中的影响.
关键词: 电子回旋共振 , cBN , 薄膜
张生俊 , 陈光华
无机材料学报 doi:10.3321/j.issn:1000-324X.2003.04.040
立方氮化硼(cBN)是一种具有广泛应用价值的Ⅲ-V族二元化合物,其优异性质可与金刚石相比拟或胜之.立方氮化硼的制备与性能研究是近二十年来材料领域关注的焦点之一.我们用热丝辅助ECR CVD方法制备了cBN薄膜,并初步探讨了热丝对cBN形成的作用.偏压并不是cBN形成的唯一主要条件,活性粒子也有非常关键的作用.
关键词: cBN , ECR CVD , 热丝
