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超声雾化方法中两步沉积对YBCO薄膜性能的影响

刘敏 , 索红莉 , 赵跃 , 张迎肖 , 刘丹敏 , 周美玲

无机材料学报 doi:10.3724/SP.J.1077.2007.00377

用自行研制的超声雾化装置在{110}<011>织构的Ag基带上直接沉积了YBCO涂层超导薄膜, 结果发现一步沉积所得YBCO薄膜的表面有许多白色小颗粒, 而且薄膜的织构和临界电流密度都较低, 这是在900℃高温沉积过程中大量的Ag蒸发和扩散到YBCO膜层中所致. 于是本文提出分高低温两步沉积的实验方案, 即700℃先沉积15min, 再升温到900℃沉积30min, 通过SEM对薄膜表面和EDS能谱对薄膜的断面进行分析可知, 两步沉积的YBCO薄膜中Ag的含量大大降低, 而且薄膜的织构和临界电流密度得到明显改善和提高, 最后通过两步沉积制备了15cm长、临界电流密度高于104A/cm2的YBCO超导薄膜.

关键词: 涂层超导 , YBCO film , textured Ag substrate , ultrasonic spray pyrolysis method

超声雾化方法中两步沉积对YBCO薄膜性能的影响

刘敏 , 索红莉 , 赵跃 , 张迎肖 , 刘丹敏 , 周美玲

无机材料学报 doi:10.3321/j.issn:1000-324X.2007.02.038

用自行研制的超声雾化装置在{110}<011>织构的Ag基带上直接沉积了YBCO涂层超导薄膜,结果发现一步沉积所得YBCO薄膜的表面有许多白色小颗粒,而且薄膜的织构和临界电流密度都较低,这是在900℃高温沉积过程中大量的Ag蒸发和扩散到YBCO膜层中所致.于是本文提出分高低温两步沉积的实验方案,即700℃先沉积15min,再升温到900℃沉积30min,通过SEM对薄膜表面和EDS能谱对薄膜的断面进行分析可知,两步沉积的YBCO薄膜中Ag的含量大大降低,而且薄膜的织构和临界电流密度得到明显改善和提高,最后通过两步沉积制备了15cm长、临界电流密度高于104A/cm2的YBCO超导薄膜.

关键词: 涂层超导 , YBCO薄膜 , 织构Ag基底 , 超声雾化热分解方法

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