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基于原子力显微镜的薄膜原位压痕力学性能研究

杜圆明 , 张跃飞 , 张长辉 , 刘燕萍

稀有金属材料与工程

基于原子力显微镜(AFM)和扫描电子显微镜(SEM)建立了一套原位纳米压痕测试系统.该系统可以实现控制带有金刚石(Cube corner)压头的AFM微悬臂梁对样品进行压入实验,并得到载荷-位移曲线,同时可以对压痕过程进行原位SEM实时观察.发展了一种基于AFM微悬臂梁加载和原位SEM压痕图像分析的力学性能测试方法,通过测量压入最大载荷和原位SEM测量压痕残余面积得到塑性薄膜的硬度和弹性模量.利用此方法对磁控溅射硅衬底上纳米晶银薄膜进行了压痕实验,并与Nanoindenter G200型纳米压痕仪实验进行对比研究.结果表明,原位AFM压痕方法具有高的载荷和位移分辨率,可以实现纳牛至微牛级的压痕实验,通过测量压痕面积得到塑性薄膜的硬度值,减小了使用Oliver-pharr方法中软膜硬基底上凸起(Pile-up)效应的影响,计算结果也具有好的测试精度和可靠性.

关键词: 原子力显微镜 , 纳米压痕 , 硬度 , 弹性模量

几种无机添加剂对铝合金微弧氧化层微结构与性能的影响

张长辉 , 朱陆军 , 张跃飞 , 马捷

腐蚀科学与防护技术

通过在电解液中依次添加多种不同的无机添加剂,对铝合金进行微弧氧化处理,研究处理之后表面的微孔分布率以及孔径大小对耐磨、耐电化学腐蚀性能的影响.分别利用X射线衍射仪(XRD)、扫描电镜(SEM)、微型摩擦磨损仪和电化学测试系统对微弧氧化陶瓷层表面进行物相分析、形貌表征、耐磨损及耐电化学腐蚀性能的测试.结果表明,依次添加Al2O3微粉,Na4P2O7,KOH,Na2WO4·2H2O和SiC纳米颗粒后,陶瓷层孔隙率下降,孔径减小,并能使材料耐磨、耐电化学腐蚀性能提高;孔径大小是影响耐电化学腐蚀性能的主要因素.

关键词: 微弧氧化 , 无机添加剂 , 耐磨性 , 耐电化学腐蚀性 , 微观结构

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