马国佳
,
张华芳
,
武洪臣
,
蒋艳莉
,
彭丽平
,
沈季雄
,
成来飞
复合材料学报
doi:10.3321/j.issn:1000-3851.2005.03.012
通过等离子体源离子注入法(PSII),对带有SiC涂层的C纤维增强SiC基(SiC-C/SiC)复合材料进行硼离子注入,研究了硼离子注入对样品抗氧化性能的影响.通过俄歇电子能谱检测分析了样品成份的深度分布.在空气中1300℃的高温条件下进行了氧化实验.通过XRD和扫描电镜分别对样品的化学组成和表面形貌进行了表征,对样品的力学性能进行了测试.结果表明,对SiC-C/SiC复合材料注入硼有助于提高其抗氧化性能.经过离子注入试样的弯曲性能与未经离子注入试样相比变化很小.
关键词:
SiC-C/SiC
,
离子注入
,
复合材料
,
等离子体源
马国佳
,
张晓囡
,
武洪臣
,
张华芳
,
彭丽平
稀有金属材料与工程
采用磁控溅射沉积万法在钛锚合金基体上制备有Ti与无Ti的类金刚石(DLC)膜,全方位离子注入(PSlI)技术被用来在膜与基体之间形成过渡层,提高膜基界面的附着力.通过X射线光电子能谱、纳米压痕、摩擦磨损等表征手段比较2种薄膜的化学组成、微结构特征和力学性能.结果表明:掺Ti α-C:H膜是含有TiC纳米晶粒的复合膜结构,其中TiC晶粒的大小约是5 nm,掺Ti α-C:H膜的力学性能得到明显改善,硬度被提高到24 GPa左右,而且结合力也明显得到提高.在大气中对样品进行热处理后,再进行摩擦磨损试验,结果表明 Ti 掺杂改善了α-C:H膜的热稳足性.
关键词:
α-C:H膜
,
类金刚石
,
PSII
,
Ti掺杂
