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张发云 , 罗玉峰 , 李云明 , 王发辉 , 胡云 , 彭华厦
材料导报
论述了磁场技术应用于硅晶体生长中的基本概况,探讨了磁场影响硅晶体生长的机制,重点阐述了各种磁场的分类、基本原理及其在硅晶体生长的应用,并归纳总结了国内外磁场应用于硅晶体生长中的研究现状.另外,对硅晶体生长中杂质的分凝行为和数值模拟作了简要介绍,并展望了磁场应用于硅晶体生长的发展前景.
关键词: 多晶硅 , 磁场 , 杂质 , 分凝行为 , 数值模拟
