温佳星
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王美涵
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彭洋
,
王新宇
,
侯朝霞
,
王少洪
,
胡小丹
中国材料进展
doi:10.7502/j.issn.1674-3962.2016.01.08
氧化钨薄膜因其特殊的物理化学性质,在智能窗、传感器等诸多新领域具有广泛的应用前景.为使WO3薄膜气致变色特性得到良好的应用,需要制备新型纳米结构氧化钨薄膜.磁控溅射是工业制备WO3薄膜的有效方法之一.掠射角磁控溅射是在传统磁控溅射基础上发展的新型薄膜制备技术,通过将衬底倾斜一定角度,可制备出具有高结晶度、大比表面积、排列规则的纳米结构WO3薄膜.综述了氧分压、溅射功率及热处理等磁控溅射参数对WO3薄膜组成、形貌、晶体结构等的影响,重点介绍了具有独特优势的掠射角磁控溅射技术,及利用其制备得到的纳米结构WO3薄膜在智能窗和气体传感器等方面的应用,提出了掠射角磁控溅射制备纳米结构WO3薄膜存在的问题及未来发展趋势.
关键词:
WO3薄膜
,
磁控溅射
,
掠射角
,
纳米结构
,
气致变色
王美涵
,
温佳星
,
彭洋
,
王新宇
人工晶体学报
三氧化钨(WO3)薄膜具有许多特性,是一种优良的致色材料.纳米结构WO3薄膜的着色效率高、可逆性好、响应时间短、光学调制高.综述纳米结构WO3薄膜的化学沉积法和物理沉积法.化学沉积法可制备出多孔、片状和特殊形貌纳米结构WO3薄膜.掠射角磁控溅射作为一种物理沉积方法,能够可控制备纳米柱状结构WO3薄膜.其次,介绍WO3薄膜的气致变色特性在气体传感器和智能窗等领域的应用.最后,对纳米结构WO3薄膜气致变色特性改善提出展望,并指出其目前存在的问题及未来发展趋势.
关键词:
WO3薄膜
,
纳米结构
,
气致变色特性
,
传感器
,
智能窗
