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铝合金表面二次阳极氧化工艺试验

徐文佳 , 李志林

腐蚀与防护

以铝合金2A12为对象,采用二次阳极氧化法进行工艺试验,运用显微镜和扫描电镜研究工艺参数的变化对氧化膜厚度和表面形貌的影响.结果表明,一次阳极氧化最佳时间为0.5 h,草酸扩孔的最佳时间为1.5 h.二次阳极氧化最佳时间为2.5 h,电流密度选用1.5 A/dm2.

关键词: 2A12铝合金 , 二次阳极氧化 , 氧化膜

RAFT聚合法合成甲基丙烯酸酯共聚物及其在负性光致抗蚀剂中的应用

林立成 , 徐文佳 , 刘敬成 , 刘仁 , 穆启道 , 刘晓亚

影像科学与光化学 doi:10.7517/j.issn.1674-0475.2016.04.371

以甲基丙烯酸(MAA)、甲基丙烯酸苄基酯(BZMA)、甲基丙烯酸羟乙酯(HEMA)和丙烯酸正丁酯(BA)为共聚单体,偶氮二异丁腈(AIBN)为引发剂,2-(十二烷基三硫代碳酸酯基)-2-甲基丙酸(DMP)为链转移试剂,采用可逆加成-断裂链转移聚合(RAFT)制备了甲基丙烯酸酯共聚物(PMBBH).利用傅立叶红外光谱(FT-IR)、核磁共振氢谱(1HNMR)和凝胶渗透色谱(GPC)对共聚物的结构进行了表征.以共聚物PMBBH为基体树脂制备了负性光致抗蚀剂,考察了PMBBH的分子量对光致抗蚀剂分辨率的影响.结果表明,以数均分子量为5.45×103g/mol,重均分子量为7.79×103 g/mol的PMBBH-2作为基体树脂时,该光致抗蚀剂得到的图像轮廓清晰,图形分辨率可达50μm.

关键词: 可逆加成-断裂链转移聚合(RAFT) , 甲基丙烯酸酯共聚物 , 光致抗蚀剂

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