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快速热氧化制备超薄二氧化硅层及其钝化效果

郭春林 , 汪雷 , 戴准 , 房剑锋 , 郑佳毅 , 杨德仁

材料科学与工程学报

二氧化硅(SiO2)是制备高效晶体硅太阳电池常用的钝化手段.本文利用快速热氧化(RTO)技术在晶体硅表面制备超薄SiO2层,考察其对硅表面的钝化作用.在100%O2气氛下,900℃RTO处理180s,可以使样品的少子寿命达到146.6μs的最佳值.采用RTO方法制备的SiO2薄膜厚度可以控制在几个纳米范围.通过与等离子体增强化学气相沉积(PECVD)系统沉积的氮化硅(SiNx)薄膜形成叠层钝化膜,可以进一步提高对太阳电池表面的钝化效果.单层SiNx薄膜钝化的样品有效载流子寿命为51.67μs,SiO2/SiNx叠层薄膜钝化的样品有效载流子寿命提高到151.18μs.

关键词: RTO , SiO2薄膜 , 太阳电池 , 钝化

Al-1.04Mg-0.85Si-0.01Cu铝合金的热压缩变形行为

党小荔 , 杨伏良 , 丁珣 , 刘攀 , 戴准

机械工程材料

采用Gleeble-1500型热模拟试验机对Al-1.04Mg-0.85Si-0.01Cu铝合金进行热压缩试验,研究了其在300~500℃和0.001~1.0s叫应变速率下的热变形行为,并利用光学显微镜分析了其不同条件变形后的显微组织。结果表明:该合金的热变形行为可用双曲正弦形式的本构方程来描述;应变速率小于1.0s叫时,随温度升高和应变速率增加,合金的变形激活能提高,应变速率为1.0s叫时,变形激活能有所下降;计算得到该合金的热变形激活能为193.029kJ·mol^-1,低于6061合金的变形激活能;该合金的热加工性能优良。

关键词: 铝合金 , 热变形 , 显微组织 , 热变形激活能

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