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物理气相沉积薄膜应力产生机理的理论分析

房永思 , 唐武 , 翁小龙 , 邓龙江 , 徐可为

功能材料

在一维线性谐振子模型基础上,应用薛定谔方程分析了晶体中原子的概率分布;将晶体中原子的概率分布定义为原子云,解释了物理气相沉积法制备薄膜时残余应力产生的原因,建立了薄膜残余应力产生机理的理论模型.

关键词: 薛定谔方程 , 原子云 , 薄膜 , 残余应力

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