张金娅
,
陈迪
,
朱军
,
李建华
,
方华斌
,
杨斌
功能材料与器件学报
doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2005.02.027
采用新型SU-8光刻胶在UV-LIGA技术基础上制备了各种高深宽比MEMS微结构,研究了热处理和曝光两个重要因素对高深宽比微结构的影响,解决了微结构的开裂和倒塌等问题;优化了SU-8胶工艺,从而获得了最大深宽比为27:1的微结构.
关键词:
UV-LIGA技术
,
SU-8胶
,
高深宽比微结构
杨斌
,
刘景全
,
周广华
,
陈迪
,
方华斌
,
蔡炳初
功能材料与器件学报
doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2005.03.019
介绍一种圆盘型非接触超声波马达的结构.利用有限元法计算了超声波马达定子在不同振动模态下的固有频率,并用激光测振仪对定子进行了测试,结果两者吻合较好.由于振幅和非接触马达的声辐射压力密切相关,因此通过谐响应分析计算了定子的振幅与定子驱动电压的关系,从而为马达的实验研究提供了理论依据.在最优模态B21下进行转子转速测试,测得最高转速为1600rpm.
关键词:
非接触马达定子
,
有限元模拟
,
振型
,
振幅
