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薄膜晶体管中绝缘层的研究现状与趋势

液晶与显示 doi:10.3788/YJYXS20163104.0380

本文主要介绍了绝缘层在薄膜晶体管中的重要作用,总结了在薄膜晶体管中应用的绝缘层材料种类及其特点,介绍了不同绝缘层的制备工艺,以及各种制备工艺的原理与特点.最后,通过分析近几年有关薄膜晶体管绝缘层的文献,介绍了薄膜晶体管在制备过程中遇到的主要问题及当前的研究热点,并对未来薄膜晶体管中绝缘层的制备工艺和绝缘材料的研究方向进行了展望.

关键词: 薄膜晶体管 , 溶胶凝胶法 , 紫外光退火 , 低温工艺

聚合物薄膜晶体管制备条件对其性能影响分析

谢应涛 , 欧阳世宏 , 王东平 , 朱大龙 , 许鑫 , 方汉铿

液晶与显示 doi:10.3788/YJYXS20153003.0427

基于溶液法制备稠合噻吩-吡咯并吡咯二酮聚合物薄膜晶体管，比较不同制备环境下的薄膜晶体管的转移特征曲线。结果表明，旋涂环境对聚合物薄膜晶体管的影响可以忽略，但是退火环境对聚合物薄膜晶体管的影响至关重要，从饱和迁移率角度来看，在惰性环境下退火的器件的饱和迁移率是在空气中退火的器件的两倍多。无论退火温度是100° C低温情况还是190°C高温情况，上述结论均适用。这一结果表明退火环境对器件的影响至关重要。

关键词: 聚合物 , 有机薄膜晶体管 , 场效应迁移率

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薄膜晶体管中绝缘层的研究现状与趋势

聚合物薄膜晶体管制备条件对其性能影响分析

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