许华嵘
,
吴立勇
,
施建荣
,
曹春海
,
蔡卫星
,
孙国柱
,
王相元
,
钱鉴
,
杨森祖
,
吉争鸣
,
程其恒
,
吴培亨
低温物理学报
doi:10.3969/j.issn.1000-3258.2002.04.006
本文主要介绍了按照目前国际上制定的超导薄膜表面阻抗Rs标准测量方案(IEC/TC90)设计并制造的Rs标准测量系统,对实验过程中系统的细节作了改进,测试精度及可靠性作了分析,实验及结果证明该标准的可行性,同时说明了我们的测试系统符合国际超导薄膜表面阻抗Rs标准测量的要求.
关键词:
陈亚军
,
康琳
,
蔡卫星
,
施建荣
,
赵少奇
,
吉争鸣
,
吴培亨
低温物理学报
doi:10.3969/j.issn.1000-3258.2005.03.004
在制备NbN/AlN/NbN隧道结的工艺过程中,为了获得具有优质单晶结构的NbN薄膜,我们在MgO(111)基片上探索了直流溅射法制备NbN薄膜的生长工艺条件,XRD研究分析表明,我们获得了单晶结构良好的NbN薄膜;为了支持作为上电极的NbN薄膜的生长,也需要良好的AlN薄膜用作势垒层,我们采用射频磁控溅射设备和纯净的Al靶对AlN薄膜进行了制备研究.实验结果表明,所获得的AlN薄膜具有六方c-轴取向,并讨论了衬底和薄膜界面处可能的结构情况.
关键词:
NbN
,
AlN
,
磁控溅射
,
XRD
,
c轴取向
施建荣
,
康琳
,
蔡卫星
,
陈亚军
,
吉争鸣
,
吴培亨
低温物理学报
doi:10.3969/j.issn.1000-3258.2003.z1.060
本文主要讨论磁控溅射设备制备的NbN/AlN/NbN三层结构的技术工艺,为制备All-NbN的 NbN/AlN/NbN SIS 隧道结作准备.我们在室温下利用直流磁控溅射工艺制备了单晶NbN薄膜,并对其超导电性做了初步的研究;又利用射频磁控溅射工艺制备了取向较好的AlN薄膜.我们利用磁控溅射方法制作NbN/AlN/NbN多层薄膜,然后对制备SIS隧道结进行了一些探索.
关键词:
NbN
,
AlN
,
NbN/AlN/NbN
,
磁控溅射
,
射频磁控溅射
韦戌
,
康琳
,
史生才
,
谢仁艿
,
施建荣
,
吴培亨
低温物理学报
doi:10.3969/j.issn.1000-3258.2005.03.003
超导SIS(Superconductor-Insulator-Superconductor)混频技术是新兴的低噪声检测技术.其卓越的低噪声性能已使其成为毫米波和亚毫米波频段灵敏度最高的谱线接收设备,接收机的自动控制和稳定性有更高的要求,研制能够长期稳定工作的接收机有很重要的意义.本文主要讨论了我们自行研究设计工作在4K温度,准光学系统的毫米波超导SIS接收机的组成部件,根据我们制备的超导SIS隧道结器件的特性指标,计算设计了300GHz波段的超导接收机天线和结的集成芯片.
关键词:
接收机
,
混频
,
准光学系统
,
对数周期天线
,
SIS结
