吴建波
,
晋云霞
,
关贺元
,
孔钒宇
,
刘文文
,
刘世杰
,
易葵
无机材料学报
doi:10.15541/jim20140025
分别以金(Au)作为金属层材料,氧化铪(HfO2)与氧化硅(SiO2)作为高低折射率层材料,利用物理气相沉积方法制备了用于宽带脉冲压缩光栅制作的金属/介质多层高反膜,研究了退火温度对其表面均方根粗糙度、反射率及抗化学清洗破坏能力的影响.实验结果表明:退火前后样品表面均方根粗糙度变化很小;提高退火温度能提高金属/介质多层膜的抗化学清洗破坏能力,但反射率会随之下降.250℃退火10 h后金属/介质多层膜不仅可以承受住化学清洗过程,而且反射率下降也比较小,可以作为金属/介质多层膜的最佳退火工艺.
关键词:
金属/介质多层膜
,
脉冲压缩光栅
,
退火
,
化学清洗
,
反射率
吴师岗
,
邵建达
,
易葵
,
赵元安
,
范正修
稀有金属材料与工程
通过对HfO2膜料中杂质元素的分析,找出了影响薄膜性能的主要杂质元素.结果表明:金属元素、吸收性介质元素的存在对薄膜的损毁有很大负面影响;在紫外波段,Zr元素含量大的薄膜吸收较大;并且提出负离子元素在膜料蒸发过程中形成气源中心,产生喷溅,从而使薄膜的损伤阈值降低.
关键词:
HfO2膜料
,
杂质
,
金属
,
吸收性介质
,
Zr元素
,
负离子元素
董磊
,
方明
,
易葵
,
范瑞瑛
,
邵建达
,
范正修
功能材料
对于大口径镀膜机的均匀性特性进行了研究,得到了一组厚度分布曲线,并对曲线进行了分析;利用这些实验结果,运用新理论设计出了具有实用性的修正挡板,均匀性可稳定的达到3‰.
关键词:
薄膜
,
均匀性
,
修正挡板
范平
,
易葵
,
邵建达
,
齐红基
,
范正修
中国有色金属学报
采用离子束溅射沉积了不同厚度的Co膜和Cu膜,利用四电极法测量了薄膜的电阻率,从而得到了Co膜和Cu膜的电导率随薄膜厚度的变化关系. 实验结果表明,Co膜和Cu膜的电学特性都具有明显的尺寸效应. 比较了同时考虑表面散射和晶界散射的电导理论得到的电导率公式与实验结果,不同薄膜厚度电导率的理论结果与实验结果符合较好. 提出了厚度作为金属薄膜生长从不连续膜进入连续膜的一个特征判据, 并利用原子力显微镜(AFM)观测了膜厚在特征厚度附近的Co膜和Cu膜的表面形貌.
关键词:
Co薄膜
,
Cu薄膜
,
金属材料
,
电学特性
秦俊岭
,
易葵
,
邵建达
功能材料与器件学报
doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2006.02.001
用磁控溅射法制备了Mo/Si薄膜,用AFM和XRD分别研究了Mo原子的溅射能量不同时,Mo/Si薄膜表面形貌和晶相的变化.通过比较发现,随着Mo原子溅射能量的增大,Mo/Si薄膜表面粗糙度增加,Mo和Si的特征X射线衍射峰也越来越强,并且Mo膜层和Si膜层之间生成了MoSi2.Mo原子的溅射能量是诱导非晶Si结晶和MoSi2生成的主要原因.
关键词:
Mo/Si
,
MoSi2
,
溅射能量
