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潘红星 , 曾亚龙 , 朱明 , 李光明
材料导报
采用氢化技术将四氯化硅转化为三氯氢硅是目前四氯化硅得到合理利用的有效手段.以此为主线,在已有研究工作和生产经验的基础上,从原理上分析了四氯化硅氢化反应,总结了影响氢化转化率的主要因素,提出了合理化建议,为多晶硅的生产提供了有价值的参考.
关键词: 四氯化硅 , 氢化 , 三氯氢硅 , 多晶硅
