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溅射功率和氧分压对ITO薄膜光电性能的影响研究

王生浩 , 张静全 , 王波 , 冯良桓 , 蔡亚平 , 雷智 , 黎兵 , 武莉莉 , 李卫 , 曾广根 , 郑家贵 , 蔡伟

功能材料

采用直流反应磁控溅射法制备了氧化铟锡(ITO)透明导电薄膜,通过四探针、紫外可见分光光度计、X射线衍射(XRD)、霍尔效应仪、扫描电镜(SEM)等对薄膜样品进行了表征,研究了溅射功率和氧分压对ITO薄膜微观结构和光电性能的影响,结果表明:溅射功率对ITO的光电性能影响较小,沉积速率随着溅射功率的增大而加快;随着氧分压的升高,载流子浓度降低,霍尔迁移率先增大后减小,电阻率逐渐增大.在优化的工艺条件下,制备了在可见光区平均透过率达85%、电阻率为1×10-4Ω·cm的光电性能优良的ITO薄膜.

关键词: 氧化铟锡 , 直流磁控溅射 , 电阻率 , 透光率

含氯气氛退火对CdTe薄膜性质影响的交流阻抗研究

付文博 , 刘庭良 , 何绪林 , 张静全 , 冯良桓 , 武莉莉 , 李卫 , 黎兵 , 曾广根 , 王文武

功能材料

对近空间升华制备的CdTe薄膜进行了CdCl2气氛下热处理。测量了样品在室温下的交流阻抗特性,基于恒相位角元件(CPE)等效电路拟合所测量的复阻抗谱,分析了退火工艺对CdTe薄膜的晶粒体电阻、晶界电阻、弛豫时间的影响。结果表明,随退火温度的增加,晶粒电阻增大,晶界电阻减小,弛豫时间缩短。

关键词: CdTe , 多晶薄膜 , 交流阻抗 , 晶界

三层减反射膜的模拟及其在太阳电池中的应用

宫臣 , 张静全 , 冯良桓 , 武莉莉 , 李卫 , 黎兵 , 曾广根 , 王文武

功能材料

使用减反射膜层是提高太阳电池短路电流密度进而提高电池转换效率的有效手段之一.针对CdTe薄膜太阳电池的光谱响应范围,基于AM1.5辐照光谱,优化设计了MgF2/H4/Al2O3结构的减反射薄膜,使用电子束蒸发技术制备了该减反射膜,使用椭圆偏振仪、紫外/可见分光光度计、原子力显微镜分别测量了所制备薄膜的光学性质和表面形貌,对比分析了膜系结构理论模拟与实验测量结果.结果表明,使用该减反射薄膜后,电池的量子效率提高了7.3%;光电转换效率从12.5%提高到13.3%.

关键词: 减反射膜 , CdTe , AM1.5 , H4 , 量子效率

溅射制备CdS薄膜及其在CdTe电池中的应用

高文敏 , 武莉莉 , 曾广根 , 王文武 , 李卫 , 张静全 , 黎兵 , 冯良桓

功能材料 doi:10.3969/j.issn.1001-9731.2016.03.009

采用射频磁控溅射方法分别在石英玻璃和TCO玻璃上制备了不同厚度的CdS薄膜,研究了CdS薄膜厚度对薄膜结构和光学性质的影响.在不同厚度的CdS/TCO衬底上,进一步制备成CdTe薄膜太阳电池.结果表明,CdS薄膜厚度的增加有利于薄膜的生长与结晶;110 nm的薄膜具有禁带宽度为2.41 eV的最大值;测试电池性能,得到CdS厚度为110 nm的电池具有11.42%的最高转换效率.

关键词: 磁控溅射 , CdS薄膜 , CdS/CdTe电池

气相CdCl2退火对CdTe多晶薄膜性能的影响

曾广根 , 黎兵 , 郑家贵 , 冯良桓 , 蔡伟

功能材料与器件学报 doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2008.03.027

利用近空间升华法在Ar+O2气氛下沉积了CdTe多晶薄膜,并在气相CdCl2氛围下进行了不同温度的退火,对样品进行了厚度、XRD、SEM、透过谱,σ-T等性能测试,结果表明:退火后CdTe多晶薄膜在(111)面上仍具有择优取向,退火能使晶界钝化,增加再结晶并促进晶粒长大;但对薄膜的透过率没有影响,退火后,暗电导(σdark)增加,电导激活能(Ea)减少.得到了最优化的退火条件.

关键词: CdTe多晶薄膜 , 退火 , 太阳电池

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