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离子束溅射铜钨薄膜的结构

曾莹莹 , 罗志扬

材料保护

为了进一步探讨离子束溅射铜钨薄膜的结构,在铁片上离子束溅射铜钨薄膜,研究了轰击离子束能量及低能辅助轰击方式对薄膜相结构和厚度的影响.结果表明:随轰击铜靶离子束能量增加,钨由近似非晶亚稳态转变成晶态;由于溅射粒子落到基片前的反射效应,薄膜中间比边缘薄,且随轰击铜靶离子束能量增加,薄膜变薄到一定程度时开始增厚;当使用低能辅助轰击时,原子喷丸效应使薄膜难以沉积.

关键词: 离子束溅射 , 铜钨薄膜 , 离子束能量 , 相结构 , 膜厚

Ar+及沉积气压对离子溅射制备铜钨复合膜结构的影响

曾莹莹 , 艾永平

兵器材料科学与工程 doi:10.3969/j.issn.1004-244X.2010.04.022

研究双离子束溅射组装铜钨复合膜Ar+能量及束流对膜影响.用XRD分析溅射沉积后的薄膜结构.实验结果表明,随靶Ar+能量和束流增加,铜钨膜向晶态化转变.铜钨复合膜的沉积速率主要由钨靶Ar+束流决定,并且增加气压会使复合膜晶粒尺寸变小,固溶进钨的铜原子也会相应减少.

关键词: 铜钨薄膜 , 离子束溅射 , Ar+能量 , 束流 , 晶粒度

铜-钨(钼)薄膜制备及应用的研究进展

曾莹莹 , 艾永平

表面技术 doi:10.3969/j.issn.1001-3660.2010.03.026

介绍了近年来铜-钨(钼)薄膜涂层的制备方法.包括溅射沉积法、离子束辅助沉积法、离子束混合法、电子束蒸发法.重点介绍了溅射法中的磁控溅射法和离子束溅射沉积法,分析了薄膜的结构特征及其在固体润滑剂、电子设备、表面修饰材料等领域的应用,并展望了未来的研究方向和应用前景,指出制备散热材料是未来铜一钨(钼)薄膜研究的主流方向.

关键词: 铜-钨(钼)薄膜 , 溅射 , 热控制

质子交换膜燃料电池水管理动态模型研究

陈海辉 , 郭秀艳 , 曾莹莹 , 马国金

材料导报 doi:10.11896/j.issn.1005-023X.2017.05.004

水管理是质子交换膜燃料电池取得良好性能的关键因素之一,膜中水的含量及其分布的不均匀造成了电池性能下降.限于试验条件及测试技术,为了更好地探明电池中水的行为及分布,研究者们开展了大量的数学模型和仿真模拟.从质子交换膜燃料电池的工作原理角度出发,回顾了有关质子交换膜中水传递从一维模型到三维模型的发展历程,并阐述了各个阶段研究的要点、限定条件和主要的研究成果.同时,提出了未来水管理方面数学模型和仿真模拟发展的新方向.模型的完善有利于燃料电池控制策略的研究,这将为电池的优化设计提供理论基础.

关键词: 质子交换膜 , 水管理 , 数学模型

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