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微热板的热测试和热分析

顾毓沁 , 张荣海 , 朱德忠 , 孙晓毅 , 阎桂珍 , 唐祯安 ,

工程热物理学报

随着近代高新技术的发展,要求各种探测器微型化。微加工技术的进步,使得微器件制造有了可能,于是微传感器就应运而生了。微热板作为一种微型加热器在微传感器中有着极为重要的作用。它的温度分布和热特性直接影响微传感器的工作性能,为此微热板的热测试和热分析成为微传感器的研制、使用和评价所必不可少的工作。 本文针对研制中的气体传感器的微热板,用红外热成像技术进行热测试和分析,获得气体传感器微热板的微小区域的温度分布,为传感器的研制提供了可靠的依据。

关键词: 微热板 , 传感器 , 红外热成像 , 温度分布

用红外热成像技术测量MEMS器件的热特性

朱德忠 , 张荣海 , 顾毓沁 , 郝京阳

工程热物理学报

微电子机械系统(MEMS)的很多器件均凭借热工作原理,在其设计、性能评估中都需要了解热特性,特别是温度分布的动静态特性.本文用显微红外热成像技术测试分析了气体传感器微热板、微机械热对流加速度计的微加热器、热驱动微热泵芯片的温度分布特性及微辐射热计的热阻特性.在测试中考虑了对象的有效发射率等影响测量精度的系统因素.

关键词: MEMS , 红外热成像 , 温度分布

功率器件热性能的测试与分析

朱德忠 , 李建军

工程热物理学报

本文利用红外热像仪测温系统,系统地对三种典型的航天用功率器件进行了测试和分析。研究结果对功率器件可靠性分析具有重要的作用。同时对功率器件进行了数值模拟,在定性方面可为器件的热设计提供改进方向和合理方案。

关键词: 功率器件 , 热测试 , 热分析 , 可靠性 , 数值模拟

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