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氟化钙单晶炉温场的计算机模拟及改进

朱逢锐 , 林玉娥 , 徐超 , 张钦辉 , 甄西合

人工晶体学报

对氟化钙晶体生长炉的顶部保温、加热器和下保温装置进行了改进研究.结合数值模拟,对改进前后晶体的轴向温度梯度、径向温度梯度和固液界面附近温度分布进行了对比分析.模拟结果表明,改进了顶部保温后增加了晶体炉内的辐射传热,有效降低了温度梯度,减小了晶体内热应力从而避免了晶体开裂;对加热器和底部保温进行改进后,减少了坩埚底部的热损失,相同温度时降低了加热功率.

关键词: 氟化钙晶体 , 提拉法 , 数值模拟 , 温场优化

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