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用PLD法制备声表面波器件用ZnO薄膜

刘彦松 , 王连卫 , 李伟群 , 黄继颇 , 林成鲁

功能材料

采用脉冲激光淀积(PLD)法在单晶Si(100)衬底上淀积了ZnO薄膜.XRD、TEM和AFM分析表明,淀积的ZnO薄膜具有良好的c轴取向性和表面平整度.通过改变淀积气氛或在纯氧中高温退火,ZnO薄膜的电阻率提高到107Ω@cm.这些结果表明,用PLD法淀积的ZnO薄膜能够满足声表面波(SAW)器件的需要.

关键词: 脉冲激光淀积 , 氧化锌 , 压电性 , 声表面波