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基于原子层沉积的Al2O3薄膜微观形貌研究

王琛英 , 杨树明 , 李常胜 , 景蔚萱 , 林启敬 , 蒋庄德 , 张易军

稀有金属材料与工程

研究利用原子层沉积获得的小于10 nm Al2O3薄膜表面形貌特点.采用该技术获得4和8 nm的Al2O3薄膜,利用原子力扫描电镜(AFM)和扫描电镜(SEM)对薄膜表面形貌进行测量,通过最小二乘法和多重分形研究薄膜表面形貌,分析得出利用原子层沉积技术加工超薄Al2O3薄膜,其形貌与成膜原理有关,与厚度无关.

关键词: 原子层淀积 , Al2O3 , 多重分形

防护用芳纶复合材料的加速环境老化

吴舜娟 , 黄献聪 , 李常胜

合成材料老化与应用

采用氙灯老化箱模拟自然环境,加速老化芳纶复合材料,通过全反射红外光谱(ATR-FTIR)、动态力学分析(DMA)和微观形貌对老化前后复合材料的结构和性能进行分析.对比老化前期和第8周后复合材料的重量变化,老化前期,吸湿率增加,而第8周以后吸湿率反而降低,吸湿率与树脂基体的红外光谱COOH峰的变化趋势基本一致,说明整体的吸湿率与树脂基体的状态密切相关.扫描式电子显微镜(SEM)结果表明,经过长时间的循环老化,表面树脂基本被剥落和刻蚀.DMA结果表明,经过长期的辐照和喷淋的循环,复合材料的玻璃化转变温度不断地减低,而相分离过程可能是老化的主要因素.通过阿累尼乌斯模型建立了循环次数与时间的等效关系.

关键词: 加速老化 , 芳纶复合材料 , 动态力学分析(DMA) , 水分吸收

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