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Cl2/Ar感应耦合等离子体刻蚀InP工艺研究

朱海波 , 李晓良

功能材料与器件学报 doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2005.03.025

采用Cl2/Ar感应耦合等离子体对InP进行了刻蚀.讨论了直流自偏压、ICP功率、气体总流量和气体组分等因素对刻蚀速率和粗糙度的影响.结果表明Cl2/Ar气体组分是决定刻蚀效果的重要因素.当Cl2含量为30%左右时,刻蚀中的物理溅射与化学反应过程趋于平衡,刻蚀速率处于峰值区,同时刻蚀粗糙度也可达到最小值.SEM照片显示刻蚀表面光洁,侧壁陡直.

关键词: 干法刻蚀 , 感应耦合等离子体 , InP , 刻蚀速率 , 粗糙度

钛基SnO2电极的制备、改性及其应用研究进展

李晓良 , 徐浩 , 延卫 , 邵丹

电镀与精饰 doi:10.3969/j.issn.1001-3849.2016.05.004

钛基SnO2电极作为一种典型的电催化电极与传统电极相比具有很多优势,因而被应用于许多电化学水处理当中.但同时也存在着一些缺点,如电极寿命较短、稳定性较差等,限制了电极更广泛的应用.主要针对电催化水处理技术中钛基SnO2电极的性质、制备方法、改性技术及其处理有机废水等方面进行综述,并针对电极存在的不足,对其改性方向进行了讨论.

关键词: 钛基SnO2 , 电极制备 , 改性 , 有机废水

钛基二氧化铅电极的制备及其改性的研究进展

李晓良 , 徐浩 , 延卫 , 邵丹

电镀与涂饰

针对电化学水处理技术中钛基PbO2电极的性质、制备方法及其改性技术等方面的研究进展进行概述,指出了钛基PbO2电极目前存在的主要问题,展望了其改性方向.

关键词: 二氧化铅 , , 电极 , 制备 , 改性 , 废水处理 , 电催化

新型Ti/TiOxHy/Sb-SnO2电极上苯胺电化学氧化反应

李晓良 , 徐浩 , 延卫

催化学报 doi:10.1016/S1872-2067(16)62555-X

苯胺是一种重要的化工原料,广泛应用于印染、制药、造纸、橡胶等领域.随着化工行业的迅速发展,苯胺的需求量越来越大.然而,苯胺毒性高,大量使用势必造成水体中苯胺浓度的升高,给人类健康及生态环境造成危害.因此,急需一种高效、洁净、经济的方法处理含苯胺废水.电化学氧化法比较新颖,相比传统废水处理方法,它具有高效、简单、清洁等优点,因此被应用于很多废水处理当中,但过多的能耗限制了其进一步广泛应用.阳极作为电化学氧化技术的核心部件,直接影响到电化学氧化反应性能.因此开发出一种高效、经济的阳极材料很有必要.此外,对苯胺降解条件的优化也同样重要.关于苯胺电化学氧化,已有的研究包括Pt电极、PbO2电极和石墨电极等阳极材料.比较而言, Ti/Sb-SnO2电极具有制备工艺简单,析氧过电位较高,材料廉价和电催化性能较强等优点.然而,它的稳定性仍有待提高.因此本文制备了一种高稳定性的Ti/TiOxHy/Sb-SnO2电极,并用于处理苯胺废水.较为系统地研究了电流密度、苯胺初始浓度、pH、NaCl投加量及反应器类型对苯胺电催化氧化性能的影响,同时采用扫描电镜(SEM)、X射线衍射(XRD)和电化学测试对该电极进行了表征,并应用紫外-可见光谱、化学需氧量、电流效率及能耗对不同参数进行评定和优化. SEM及XRD结果表明, Ti/TiOxHy/Sb-SnO2电极涂层覆盖比较完全、紧实,未出现裂缝的发生,因而有利于提高电极稳定性.循环伏安测试结果表明,此电极具备较高的析氧过电位(2.0 V vs Ag/AgCl)及电化学孔隙度(76.31%),因此有利于电极催化性能的提高.苯胺电化学氧化实验结果发现,该反应符合准一级动力学模型,且高电流密度、酸性环境、适当NaCl投加量(0.2 wt%)更有利于苯胺的降解.另外, Ti/TiOxHy/Sb-SnO2电极在三维反应器中对苯胺的处理效果要远远好于在二维反应器中.可以看出, Ti/TiOxHy/Sb-SnO2电极具有较好的处理苯胺性能,可为苯胺废水处理的应用提供了一定的理论指导.

关键词: 苯胺 , Ti/TiOxHy/Sb-SnO2电极 , 电化学氧化 , 氯离子 , 三维反应器

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