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Si衬底GaN基LED理想因子的研究

刘卫华 , 李有群 , 方文卿 , 周毛兴 , 刘和初 , 莫春兰 , 王立 , 江风益

功能材料与器件学报 doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2006.01.011

首次报道Si衬底GaN LED的理想因子.通过GaN LEDI-V曲线与其外延膜结晶性能相比较,发现理想因子的大小与X射线双晶衍射摇摆曲线(102)面半峰宽有着对应关系:室温时Si衬底GaN LED的理想因子为6.6,对应着半峰宽707arcsec;理想因子为4.5时,对应半峰宽530arcsec.蓝宝石衬底GaN LED理想因子为3.0,其对应半峰宽401arcsec.硅衬底GaN LED理想因子大的原因可以归结为高缺陷密度所致,高缺陷密度使电流隧穿更容易进行.

关键词: Si衬底 , GaN , LED , 理想因子

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