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强激光负载Sol-Gel减反膜和防潮膜

唐永兴 , 李海元 , 严海华 , 乐月琴 , 贾巧英 , 刘瑞军

稀有金属材料与工程

对不同比例的Si(OC2H5)4:H2O:C2H5OH:NH3:PEG配方进行优化,在一定的工艺条件下陈化放置,最后得到半透明的悬胶体涂膜溶液.采用浸渍提拉法涂膜.研究了涂膜悬胶体粘度变化的规律性,TEM测量了悬胶体内部SiO2颗粒的尺寸大小以及颗粒之间的聚合状态,研究开发了高激光破坏阈值减反膜和防潮膜.涂制多孔SiO2减反膜后K9和石英玻璃,单波长表面反射率减少约7.5%,激光破坏阈值>15 J/cm2,1 053 nm/1ns;涂制防潮膜减反膜的KDP晶体,双波长表面反射率减少6.5%~7.5%.膜层表面均匀性优良.

关键词: 强激光负载 , 溶胶-凝胶 , 减反膜 , 防潮膜

多孔二氧化硅增透膜的改性研究

贾巧英 , 刘瑞军 , 李海元 , 唐永兴 , 姜中宏

稀有金属材料与工程

研究了甲基三乙氧基硅烷的预聚体(PMTES)对含有聚乙二醇(PEG)的SiO2悬胶体的稳定性以及所得膜层的结构、形貌和稳定性的影响.结果表明:PMTES的掺杂仅仅改变了SiO2悬胶体的粘度而对其稳定性影响较小,掺杂改性溶胶在室温条件下的存放期超过2个月;当烘烤温度超过200℃时,掺杂剂PMTES的结构开始发生明显变化,改性膜层在150℃烘烤0.5 h后其稳定性大幅度提高,室温下至少可以存放5个月而保持透过率不变;掺杂对膜层的形貌影响甚微,改性膜层结构致密、表面均匀,具有更强的环境适应性.

关键词: 溶胶-凝胶 , 稳定性 , 杂化改性 , 多孔二氧化硅膜

高激光损伤阈值溶胶-凝胶ZrO2薄膜

李海元 , 唐永兴 , 胡丽丽

稀有金属材料与工程

采用醇热法水解氧氯化锫(ZrOCl2·8H2O)制备ZrO2溶胶,提拉法涂膜.采用粘度、粒度分布、折射率、IR、DSC、AFM等测试手段对溶胶和薄膜性能进行表征.结果表明,ZrO2溶胶颗粒的平均粒径为18.9 nm,薄膜经300℃热处理后折射率可高达1.95,膜层表面均匀平整,表面平均粗糙度仅为0.561 nm,膜层的激光损伤阈值为14 J/cm2(1064nm,1 ns).

关键词: 溶胶-凝胶 , 激光损伤阈值 , 薄膜 , ZrO2 , ZrOCl2·8H2O

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