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Au-Si<111>体系离子束混合中的温度影响

李玉璞 , 陈坚 , 刘家瑞 , 章其初

材料研究学报

<正> Au-Si 系统是一种典型的共晶体系。B.X.Liu 等通过对Au 与Si 迭层膜的研究得到多种组分比和相结构的Au 与Si 的混合层~([1]);S.S.Lau 等通过对Au 膜-Si 衬底样品的研究0得到过Au_(71)Si_(29)(～Au_5Si_2)亚稳相~([2])。本文在更宽的离子束参数及更宽的温区(77—573K)下,系统地研究了Ar 离子束诱导的Au 膜-Si衬底体系的原子混合现象,

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