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SiC埋层的制备与性质研究

吴春瑜 , 沈桂芬 , 王颖 , 朱长纯 , 李玉魁 , 白纪彬

功能材料与器件学报 doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2002.01.002

在衬底温度400℃条件下对n型(100)单晶硅进行剂量分别为5×1017cm-1和1×1018cm-1的C+注入,经过在1050℃氮气氛下进行60min退火形成β-SiC埋层.通过X射线光电子能谱(XPS),俄歇电子能谱(AES)及付立叶变换红外吸收光谱(FTIR),对所形成的碳化硅埋层进行了测试与分析.结果表明在此条件下,在Si中可以形成一定的SiC埋层,并且C+离子注入硅衬底可以形成β-SiC和α-SiC.SiC埋层主要由非立方相的α-SiC和立方相的β-SiC所构成.

关键词: SiC , 离子束合成 , 能量损失谱

新型三极碳纳米管场发射器件的研究

李玉魁 , 朱长纯

液晶与显示 doi:10.3969/j.issn.1007-2780.2004.06.003

采用催化剂高温分解方法制备了碳纳米管薄膜阴极.利用优质云母板作为绝缘材料,结合简单的丝网印刷工艺制作了新型的栅极结构.详细地给出了新型三极碳纳米管场发射器件的制作工艺,对场致发射的机理进行了初步的讨论.采用这种新型的栅极结构,不仅极大地降低了总体器件成本,同时避免了碳纳米管薄膜阴极的损伤,提高了器件的制作成功率.所制作的三极结构平板场发射器件具有良好的场致发射特性和栅极控制能力.

关键词: 碳纳米管 , 场致发射 , 栅极 , 丝网印刷

点阵阴极寻址型三极场发射器件的制作

靳孝峰 , 张琦 , 李玉魁 , 武超

液晶与显示 doi:10.3969/j.issn.1007-2780.2009.04.010

结合丝网印刷工艺,通过制备绝缘层和布线层的层叠式,在玻璃基底上实现了大面积的点阵阴极寻址结构.应用碳纳米管作为阴极材料,研发了三极结构的场致发射平板显示器件样品.通过点阵阴极寻址结构,可直接对发光像素进行逐点控制,从而实现整体器件的图像显示.该器件可与现有的驱动集成电路相结合进行控制,具备良好的场致发射特性和高的显示亮度.

关键词: 场致发射 , 阴极 , 寻址 , 点阵 , 碳纳米管

高真空场发射三极显示器的制作

靳孝峰 , 赵锋 , 李玉魁 , 武超

液晶与显示 doi:10.3969/j.issn.1007-2780.2009.05.008

三极结构的场致发射显示器是一种新型的真空平板显示装置,高真空的实现与维持是确保显示器件正常工作的必要条件.通过采用低熔点玻璃粉烧结工艺和玻璃定位片装置,实现了场致发射显示器的高真空平板封装.从器件封装结构、器件烧结、器件排气和器件烤消等方面进行了工艺改进.综合采用这套技术,已经研发出三极结构的、具有高真空度的碳纳米管阴极场致发射显示器样品.

关键词: 显示器件 , 场致发射 , 封装 , 三极 , 真空

新型栅极结构的单色三极场发射器件

韩建勋 , 李玉魁

液晶与显示 doi:10.3969/j.issn.1007-2780.2010.03.009

应用云母板作为栅极基底,结合常规的丝网印刷工艺,制作了改进的栅极结构.采用钙钠平板玻璃作为封装面板,利用碳纳米管作为冷阴极材料,研制了三极结构的单色场致发射显示器件.栅极基底的优良绝缘性能确保了其不易被强电场强度所击穿;改进的栅极层则能够进一步缩短栅极-阴极之间的有效距离,有利于降低栅极的工作电压.该显示器件具有高的显示亮度,良好的栅控能力以及场致发射特性.

关键词: 场发射显示器 , 三极结构 , 丝网印刷

三极场发射显示器件的发光优化制作

李玉魁 , 刘云朋

液晶与显示 doi:10.3969/j.issn.1007-2780.2010.05.021

结合低熔点玻璃粉密封工艺,应用钙钠平板玻璃分别形成阴极面板、阳极面板和封装面板,研发了三极结构的场致发射显示器件.阳极面板作为相互连通的发射腔和排气腔的公共端,用于产生器件显示图像;具有高平整度的阳极面板处于真空环境中,不会出现形变现象,确保了发光图像的显示均匀性.封装面板上不存在任何电极.整体封装器件制作工艺稳定、可靠且成本低廉,具有较高的显示亮度、良好的栅控特性和图形显示功能.

关键词: 面板 , 封装 , 显示 , 器件 , 场发射

三极小型场发射显示器的半圆组阴栅结构优化制作

李玉魁 , 王凤歌 , 刘兴辉 , 曾凡光

液晶与显示 doi:10.3788/YJYXS20132803.0305

对钠钙平板玻璃进行切割形成后封装面板.结合高效的丝网印刷技术,在后封装面板上制作了半圆组阴栅结构.烧结的银浆层用于形成导电电极组中的双长条电极,而固化的绝缘浆料则用于构成绝缘层.碳纳米管直接制备在长条电极的表面,呈现双半圆形状,用于进行电子发射.栅极则是固定在碳纳米管阴极的上方,栅极和阴极之间依靠栅极基底而相互隔离.测试结果表明,应用半圆组阴栅结构,能够进一步降低阴极-栅极之间的电容效应,提高碳纳米管的电子发射能力,并增强三极场发射显示器的驱动灵活性.以碳纳米管作为阴极材料,进行了三极结构小型场发射显示器的研制.该三极显示器具有良好的场致发射特性,高的发光亮度以及优良的发光图像均匀度,其开启场强约为2.12 V/μm,且制作成本低廉.

关键词: 制作 , 阴极 , 场发射 , 封装面板

三极结构场致发射显示器件的制作

李玉魁 , 郭艳清 , 朱长纯

液晶与显示 doi:10.3969/j.issn.1007-2780.2006.03.008

利用钙钠玻璃作为阴极和阳极面板,并采用低熔点玻璃粉进行高温烧结,制作了三极管型的碳纳米管阴极场致发射平板显示器件样品.高效的烧结排气工艺提高了器件的制作成功率,避免了碳纳米管阴极和阳极荧光粉的损伤.改进的消气剂装配确保了器件的良好密封性能.整体显示器件具有高的显示亮度和低的制作成本.

关键词: 碳纳米管 , 三极结构 , 平板器件 , 场致发射

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