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真空热处理对镍基单晶高温合金溅射NiCrAlY涂层抗氧化性能的影响

李美恒 , 张重远 , 孙晓峰

中国腐蚀与防护学报

用磁控溅射法在镍基单晶高温合金基体上沉积NiCrAlY涂层 ，研究了真空热处理对涂层组织结构及抗氧化性能的影响.结果表明，溅射NiCrAlY涂层主 要由γ-Ni和β-NiAl两相组成，元素分布均匀；经真空热处理后，涂层主要由γ′-Ni3Al 、β-NiAl相和极少量的α-Al2O3相组成，元素分布变得不均匀，最外层富Al贫Cr.真空 热处理可使溅射NiCrAlY涂层表面较早生成保护性能良好的α-Al2O3.1000℃氧化200 h ，溅射涂层氧化膜有较大部分已经剥落，但真空热处理涂层的氧化膜仍较好地粘附在涂层基 体上.真空热处理使溅射NiCrAlY涂层表面生成的氧化膜粘附性更好，提高了溅射NiCrAlY涂 层的抗氧化性能.

关键词: 溅射 , NiCrAlY coating , vacuum heat treatment , oxida tion resistance