黄君
,
毛智彪
,
景旭斌
,
曹坚
,
甘志峰
,
李芳
,
崇二敏
,
孟祥国
,
李全波
功能材料与器件学报
相对来讲,i线(i-line)抗酸性要大大强于KrF而不容易产生类似的缺陷,但器件尺寸微缩进入45/40nm技术节点以后,由于受到分辨率(Resolution)和焦深(Depth of Focus)的限制,双栅极(Dual Gate)蚀刻所用光刻胶由之前通用的i-line(波长365nm)改成KrF(波长248nm).由于这种缺陷会导致在双栅极氧化层湿法蚀刻后应该被蚀刻去除的栅极氧化层有残留,最终导致核心器件区栅极氧化层厚度不均匀而影响器件的性能.因此,KrF抗酸性研究就成为器件尺寸微缩进入45/40nm技术节点以后的一个课题.本文主要阐述了对双栅极氧化层湿法刻蚀中KrF光刻胶在DHF(Diluted Hydrogen Fluoride)中浸泡去除清洗过程中出现的隐形残留缺陷问题的发现,并且研究产生这种由于缺乏抗酸性而产生缺陷的机理,进而阐述通过多项基于这种现象和机理的DHF工艺蚀刻时间、光刻胶显影后烘焙硬化处理、UV光照处理、等离子体抗酸处理等实验过程及效果,最终总结出有效的解决方案:基于低温(摄氏90度)、低功率(小于1000W)下的以氧气和氮氢混合气为反应气体的Descum等离子处理非常有效地解决了光刻胶在酸液中形成残留缺陷的问题.
关键词:
郭超
,
左敦桂
,
黄坚
,
苏永超
,
阎启
,
聂璞林
,
李芳
中国有色金属学报
对6016铝合金激光焊接接头的力学性能开展研究,分析焊后时效热处理对其力学性能的影响规律.结果表明:焊后时效处理可以提高焊接接头的力学性能,采用(180℃+10h)时效处理工艺可将焊缝中心的硬度从58HV提高到82 HV,可将焊接接头的拉伸强度从180MPa提高到274MPa,时效强化效果明显.动力学分析表明,6016铝合金焊接接头时效强化过程符合Johnson-Mehl-Avrami (JMA)方程.当时效温度升高,接头中强化相体积分数的变化率也随之增大,合金硬度上升速率增加,达到峰值硬度所需时间变短.
关键词:
6016铝合金
,
激光焊接
,
力学性能
,
时效
,
动力学分析
卢晶
,
周怀春
,
江波
,
李芳
,
熊倩
工程热物理学报
烟黑容积份额的测量是研究烟黑生成的反应机理的额的薪方法.本文详细描述了采用热电偶沉积法测量烟黑容积份额的理论基础和数据处理过程,并将此方法应用于层流乙烯非预混火焰的测量中.测量结果表明,该火焰中烟黑容积份额的分布同火焰结构和火焰温度都有关.
关键词:
TPD
,
热电偶
,
烟黑容积份额
李其明
,
李芳
功能材料
doi:10.3969/j.issn.1001-9731.2013.18.007
通过静电纺丝技术制备了具有一维纳米结构的SiO2/TiO2纳米复合纤维,基于热碱化学刻蚀技术对其微观形貌进行二次调制,制备出具有较高比表面积的多孔TiO2纳米纤维。TG表征表明550℃以上的焙烧温度才能完全烧掉纳米纤维前驱体中有机物组分,从而得到无机 SiO2/TiO2纳米复合纤维。同时发现,SiO2掺杂可以有效抑制 TiO2高温条件下从锐钛矿相向金红石相的转化,在700℃仍然可以得到结晶较好的纯相 SiO2/TiO2锐钛矿。SEM 表征表明NaOH 热化学处理可以从复合纳米纤维 SiO2/TiO2体相刻蚀掉大部分 Si O 2纳米晶粒,从而制备出多孔TiO2无机纳米纤维,相对未经处理的TiO2纳米纤维,该材料具有更高的比表面积和更加精细的微观结构。
关键词:
静电纺丝
,
SiO2/TiO2 复合纳米纤维
,
化学刻蚀
,
微观结构
曹锐
,
李德威
,
易顺华
,
曹圣华
,
李芳
黄金
doi:10.3969/j.issn.1001-1277.2009.02.005
黄陵背斜中南部的月亮包金矿床赋存于三斗坪岩体英云闪长岩(794 Ma)中,矿体主要受北北西向次级断裂构造控制,矿床形成经历了成矿前金初步富集、热液成矿作用、金次生富集3个成矿作用过程.流体包裹体岩相学、热力学及拉曼光谱研究表明:成矿热液总体属中-低温、中-低盐度且含有有机质的H2O-NaCl-CO2 (CH4)体系类型.通过研究并综合分析前人资料初步认为:脆-韧性复合剪切带为其控矿构造;岩浆是成矿物质的主要来源;基性岩墙群侵位引起的加热升温作用配合挤压向伸展转换过程中压力突然释放,是引起成矿流体沸腾和成矿的重要因素;丰富的H2O、CO2、 CH4等挥发组分是该区成矿的有利条件.
关键词:
流体包裹体
,
作用成矿
,
矿床成因
,
黄陵背斜
,
月亮包金矿床
丁纯梅
,
王芬华
,
李芳
,
苏云
,
张德海
,
沙乐
稀有金属
doi:10.3969/j.issn.0258-7076.2007.02.021
对壳聚糖进行液态均相配合反应制得壳聚糖-Zr(Ⅳ)配合物, 通过AMF, IR, XRD及XPS等检测证实了壳聚糖与锆离子之间配位键的存在, 且显示壳聚糖在形成配位结构后存在有利于降解的优势构象. 以H2O2对壳聚糖-Zr(Ⅳ)配合物及壳聚糖进行氧化降解, 探讨相同条件下粘度的变化及降解产物的分子量分布. 结果表明, 壳聚糖-Zr(Ⅳ)配合物的降解速度明显高于壳聚糖, 降解产物分子量分布较壳聚糖直接降解窄, 进一步证明壳聚糖-Zr(Ⅳ)配合物中存在有利于降解的优势结构.
关键词:
壳聚糖
,
壳聚糖锆配合物
,
催化氧化
刘永锋
,
刘开琪
,
李芳
,
刘波
稀有金属材料与工程
采用一种具有特殊表面形貌的空心球-高尔夫球型高铝空心球来配制浇注料,研究了此种高铝空心球添加量、漂珠添加量、黏土添加量对浇注料性能的影响.结果表明:浇注料体积密度和强度随空心球掺量的增加而减小;适量漂珠的添加在降低体密的同时,会使试样强度有一定的提高;黏土的加入使浇注料的强度,尤其是中温烧成后试样的强度明显增加,但过多的黏土会影响浇注料的高温强度.优化实验后,制备出系列高性能高尔夫球型高铝空心球保温浇注料.
关键词:
高尔夫球型
,
空心球
,
保温浇注料
,
研制
