杜良
,
曾俊辉
,
张东
,
杜纪富
,
杨淑勤
,
任丁
,
刘宁
,
黄宁康
表面技术
doi:10.3969/j.issn.1001-3660.2009.01.004
为了提高放射性废物包装用的不锈钢材料的阻氚性能, 采用离子束混合技术在不锈钢表面沉积低Z材料的SiC-C涂层, 对50%SiC-C涂层进行不同条件的加热处理以及随后进行的剂量为1×1018/cm2H+的注入,研究涂层微观结构的变化,该研究为涂层的实际使用提供科学依据.研究结果表明:离子束混合沉积在不锈钢基体上的50%SiC-C涂层经加热处理后会发生涂层元素的扩散迁移. 随着加热温度的提高,发生颗粒凝聚晶化现象; 氢离子注入会产生非晶化效应,同时导致涂层元素Si向表面及界面的增强迁移.
关键词:
SiC-C涂层
,
离子注入
,
表面形貌
,
Si深度分布
杜纪富
,
孙彩霞
表面技术
C-90％ SiC涂层涂覆在不锈钢废物包装桶的内壁上,可以有效防止放射性废物中氚的渗透,涂层与不锈钢基体材料的粘着性能是此类阻氚涂层使用寿命长短的关键.采用中频磁控溅射结合离子束混合技术,在不锈钢基体上沉积C-90％ SiC涂层,探索提高涂层粘着性能的方法,通过二次离子质谱和SEM形貌表征涂层与基体之间的结合性能.结果表明,预沉积一层Cu膜,可以使涂层与基体之间的元素混合效应大大提高,有利于提高涂层的粘着性能.
关键词:
阻氚涂层
,
C-SiC涂层
,
Cu预沉积
,
离子束混合
,
结合性能
杜纪富
,
展长勇
,
黄宁康
功能材料与器件学报
doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2007.06.002
用动态离子束混合技术在铁基材料表面上制备氧化钽薄膜.用Ar+束溅射沉积薄膜的同时,分别用100 keV,2×1017/cm2的O+离子或100 keV,8×1016/cm2的Ar+进行辐照.对两种工艺下生成的氧化钽薄膜进行了XPS、AES及RBS分析研究,结果发现,Ar+辐照下制备的氧化物薄膜主要由符合化学剂量比的Ta2O5化合物组成,引入的碳污染少.O+辐照下制备的薄膜生成了低价的氧化钽,引入了大量的碳污染.
关键词:
氧化钽薄膜
,
动态离子束混合
,
XPS
,
AES
