孟卫如
,
徐可为
,
杨吉军
,
贺林
中国有色金属学报
通过差热分析确定了含Cr量分别为0,0.25%,0.5%,1.0%,2.0%,4.0%(摩尔分数)的CuMnCr合金的熔化温度.采用座滴法测量了不同温度下不同Cr含量的CuMnCr合金在石墨表面的铺展面积和接触角.在真空气氛中Mn的蒸发引起CuMnCr合金在石墨表面的润湿性随温度变化而变化,不同Cr含量的CuMnCr合金在石墨表面的接触角在960℃时最小.不同Cr含量的合金在不同温度下表现出最佳的铺展面积,随含Cr量的增加界面反应层的厚度增加.通过X射线衍射分析不含Cr和含Cr的合金界面反应产物分别为Mn7C3和CrxCy.
关键词:
座滴法
,
CuMnCr合金
,
润湿性
,
石墨
杨吉军
,
徐可为
金属学报
doi:10.3321/j.issn:0412-1961.2007.09.002
用原子力显微镜(AFM)观察磁控溅射Cu膜的表面形貌,并基于功率谱密度(PSD)和粗糙度测量方法对薄膜进行了量化表征,研究了薄膜表面演化的动力学标度行为.结果表明:薄膜表面演化具有多尺度特征,在全域和局域呈现两种不同的标度行为.全域的粗糙度指数αg≈0.83,生长指数βg≈0.85;而局域的粗糙度指数α1≈0.88,生长指数β1≈0.26.这种差异揭示了薄膜生长机制的尺度依赖性.薄膜全域表面演化为异常标度行为,这归因于体扩散导致了晶粒几何形态的急剧变化;而局域表面演化呈现表面扩散控制的生长行为.
关键词:
Cu膜
,
表面演化
,
动力学标度
,
原子力显微镜
杨吉军
,
马飞
,
徐可为
金属学报
用磁控溅射工艺分别在Si和Al2O3衬底上沉积两种不同织构组分的多晶柱状Cu膜, 基于动力学标度方法表征两种薄膜的表面粗化特征. 结果表明, Cu(111)取向晶粒组分多的薄膜的生长指数较大、表面粗化速率较快. 对于较低温度下沉积的多晶柱状薄膜, 基于其晶粒几何形态和弱化的晶界限制的特点, 提出了一种表面粗化机制, 认为薄膜的表面粗化主要依赖于其晶粒表面的粗化过程, 而薄膜织构决定了薄膜表面粗化速率.
关键词:
Cu膜
,
surface roughening
,
texture
,
dynamic scaling
杨吉军
,
马飞
,
徐可为
金属学报
doi:10.3321/j.issn:0412-1961.2006.12.001
用磁控溅射工艺分别在Si和Al2O3衬底上沉积两种不同织构组分的多晶柱状Cu膜,基于动力学标度方法表征两种薄膜的表面粗化特征.结果表明,Cu(111)取向晶粒组分多的薄膜的生长指数较大、表面粗化速率较快.对于较低温度下沉积的多晶柱状薄膜,基于其晶粒几何形态和弱化的晶界限制的特点,提出了一种表面粗化机制,认为薄膜的表面粗化主要依赖于其晶粒表面的粗化过程,而薄膜织构决定了薄膜表面粗化速率.
关键词:
Cu膜
,
表面粗化
,
织构
,
动力学标度
