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硒化锌的化学机械抛光研究

吴传超 , 安永泉 , 王志斌 , 杨常青 , 张瑞

人工晶体学报

采用化学机械抛光(CMP)的方法,自制抛光液作为研磨介质,对(50×50×1.5)mm3硒化锌(ZnSe)晶片抛光.通过分析抛光液的pH值、抛光盘转速、抛光液的磨料浓度、压力、抛光时间和抛光液流量等参数对CMP的影响,组合出最佳工艺参数,并通过原子力显微镜和平晶测试方法对最佳工艺参数获得的ZnSe晶片进行测试,实验结果显示,ZnSe晶片抛光后的表面粗糙度Ra为0.578 nm,平面面形误差小于1.8 μm.

关键词: ZnSe晶片 , 化学机械抛光 , 表面粗糙度

大辽河水系河水中16种抗生素的污染水平分析

杨常青 , 王龙星 , 侯晓虹 , 陈吉平

色谱 doi:10.3724/SP.J.1123.2012.03059

采用固相萃取-液相色谱-串联质谱建立了水中磺胺( SAs)、氟喹诺酮(FQs)、四环素(TCs)和氯霉素(CAPs)4类共16种抗生素的同时定量分析方法.该方法采用正、负离子同时扫描模式,提高了分析速度;同时在固相萃取洗脱步骤中采用两种溶剂(甲醇及含氨水的甲醇)组合对目标抗生素进行洗脱,在减小洗脱溶剂用量的同时又提高了回收率.用此法对大辽河水系20个采样点的河水进行了定量检测.结果表明:该法对水体中的目标抗生素有较好的灵敏度和富集效果,方法回收率为69.5% ~122.6%,检出限为0.05 ~0.32 ng/L.在大辽河水系河水中共检出4类13种抗生素的残留,其中磺胺甲基异恶唑在所有采样点都有检出;氟喹诺酮类抗生素的局部残留浓度相对较高;四环素和氯霉素的检出频率和检出浓度相对较低.在河流的上游,这4类抗生素的残留水平较低,而在大城市如沈阳、本溪、辽阳的周围残留水平较高.通过对大辽河水系河水中的抗生素污染水平进行系统的分析比较,所得数据说明大辽河水系存在一定程度的抗生素残留污染,今后对周边地区抗生素污染排放需要加强科学管理.

关键词: 固相萃取 , 液相色谱-串联质谱 , 抗生素 , 大辽河 , 污染水平

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