王伟君
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何俊
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张克智
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陶加华
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孙琳
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陈晔
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杨平雄
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褚君浩
无机材料学报
doi:10.15541/jim20140309
采用单靶磁控溅射法制备了铜铟硒(CIS)和铜铟锌硒(CIZS)薄膜.XRD表征发现CIZS-300出现了与其它薄膜不同的择优取向,分析认为贫铜的状态和适宜温度可能促使薄膜择优取向从(112)向(220)转化;拉曼光谱在171 cm-1处出现的较强峰,和206 cm-1处出现的较弱峰,分别为A1和B2振动模式,而Zn的掺入导致A1拉曼峰的宽化和蓝移;Zn的掺入使Cu含量改变进而使CIZS禁带宽度增大,这是由于Se的p轨道和Cu的d轨道杂化引起的;SEM测试结果表明CIZS薄膜表面比CIS表面更为紧密、平滑.
关键词:
磁控溅射
,
铜铟锌硒
,
锌掺杂
张克智
,
陶加华
,
刘俊峰
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何俊
,
董宇晨
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孙琳
,
杨平雄
,
褚君浩
无机材料学报
doi:10.3724/SP.J.1077.2014.14065
采用溶胶-凝胶后硒化法制备了铜锌锡硫硒薄膜,其薄膜表面平整、无裂纹。通过简化铜锌锡硫前驱体溶胶的制备以及后退火时避免使用硫化氢气体（H2S）等方法使铜锌锡硫硒薄膜的制备工艺得到简化。选用低毒有机物乙二醇为溶剂，Cu(CH3COO)2、Zn(CH3COO)2、SnCl2×2H2O和硫脲为原料,制备铜锌锡硫前驱体溶胶。XRD、Raman、EDX和SEM 分析表明制备的铜锌锡硫硒薄膜为锌黄锡矿结构,所有薄膜均贫铜富锌,用0.2 g硒粉、硒化20 min得到的铜锌锡硫硒薄膜其结晶较好,表面晶粒可达1.0μm左右。透射光谱分析结果表明,随硒含量的增加,铜锌锡硫硒薄膜的光学带隙从1.51 eV减小到1.14 eV。
关键词:
溶胶-凝胶
,
铜锌锡硫硒
,
薄膜
,
硒化
