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黄峰 , 康健 , 杨慎东 , 叶超 , 程珊华 , 宁兆元 , 甘肇强
功能材料
用苯(C6H6)和三氟甲烷(CHF3)混合气体作源气体,采用永磁微波电子回旋共振等离子体化学气相沉积(MWECRCVD)技术,制备了氟化非晶碳膜(a-C:F).光学带隙的结果表明它与膜中的C、F元素含量和键结构都有关系;伏安特性的测量表明a-C:F薄膜的电导在低电场下呈欧姆特性,高电场下则是肖特基发射机制.
关键词: a-C:F薄膜 , MWECR-CVD , 光学带隙 , J-V特性
黄峰 , 程珊华 , 宁兆元 , 杨慎东 , 叶超 , 甘肇强
材料科学与工程学报 doi:10.3969/j.issn.1673-2812.2001.04.008
用苯(C6H6)和四氟甲烷(CF4)混合气体作源气体,用微波电子回旋共振等离子体化学气相沉积技术制备了含氟非晶碳膜(a-C:F).着重讨论了输入的微波功率对成膜结构和性质的影响.我们对沉积的膜作了膜厚、扫描电子显微表面形貌(SEM)、紫外-可见光透射谱(UV-VIS)、傅立叶红外变换(FTIR)等的测量.结果表明随着微波功率的增加沉积速率一直在上升;同时膜中缺陷增多;从FIIR的结果我们发现膜中主要以C-F、CF2和F-芳基成键;通过UV-VIS吸收谱的测量的结果我们求出了折射率和光学带隙;并且将光学带隙和膜中的sp2碳浓度建立关系.
关键词: 微波ECR-CVD , a-C:F膜 , 微波功率
