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超硬超厚类金刚石薄膜合成研究

张文英 , 黄楠 , 孙鸿 , 冷永祥 , 杨文茂 , 陈俊英

功能材料

采用过滤真空阴极直流弧源(FilteredCathodic Vicuum Arc Deposition,FCVA)方法沉积超硬(>6000HV)超厚(微米级)的DLC/DLC多层薄膜.通过显微硬度、内应力测量、XPS等方法表明,该薄膜显著优于普通单层薄膜.

关键词: DLC , 类金刚石薄膜 , FCVA , 超硬超厚

锌镀层加速腐蚀过程的监测分析

吴志勇 , 李雪源 , 曹银春 , 唐作琴 , 杨文茂

材料保护

研究了锌镀层的加速腐蚀过程并对其监测、分析,采用数值方法模拟其腐蚀变化规律,比较了几种数学模型模拟预测腐蚀过程的发展趋势.结果表明:采用数学模型d=AtBe(C/t)对试验所用加速腐蚀介质条件下的锌镀层腐蚀过程进行数值模拟更为适宜.

关键词: 锌镀层 , 加速腐蚀 , 数值方法 , 模拟

微图形氧化钛薄膜表面内皮细胞生长行为研究

刘艳文 , 王露 , 杨文茂 , 张琦 , 冷永祥 , 黄楠

功能材料

采用非平衡磁控溅射沉积技术制备微图形化的Ti-O薄膜,通过在微图形化的薄膜表面培养内皮细胞的方法,研究了微图形及表面物理化学性能对细胞生长行为的影响.结果表明,微图形尺寸减小到某一尺度范围之内会对内皮细胞在材料表面的生长起到接触引导作用,促进细胞在其表面生长;同时,表面成分、结构和表面能参数γsp/γsd也在一定程度上影响内皮细胞的生长行为.采用溅射技术使材料表面具有一定特征的表面微观形貌,能够引导和促进细胞在材料表面的生长,溅射技术制备微图形化表面可能成为等离子体生物材料表面改性的一个新的技术手段.

关键词: 微图形 , 钛氧薄膜 , 内皮细胞 , 非平衡磁控溅射

非平衡磁控溅射沉积Ta-N薄膜的结构与电学性能研究

杨文茂 , 张琦 , 陶涛 , 冷永祥 , 黄楠

功能材料

采用直流反应非平衡磁控溅射技术在单晶Si(100)和玻璃表面沉积氮化钽(Ta-N)薄膜,分别测试了薄膜的结构、成分、电阻率和吸收光谱,研究了氮氩流量比(N2∶Ar)变化对Ta-N薄膜的结构和电学性能的影响.研究结果表明随N2∶Ar增加,依次生成六方结构的γ-Ta2N、面心立方结构(fcc)的δ-TaNx、体心四方结构(bct)的TaNx;N2∶Ar在0.2~0.8的范围内,Ta-N薄膜中只存在着fcc δ-TaNx;当N2∶Ar>1之后,Ta-N薄膜中fcc δ-TaNx和bct TaNx共存.Ta-N薄膜电阻率随N2∶Ar流量比增加持续增加,当N2∶Ar为1.2时,薄膜变为绝缘体,光学禁带宽度为1.51eV.

关键词: Ta-N , 薄膜 , 非平衡磁控溅射 , 反应溅射 , XRD , 电阻率

60Si2Mn化学氧化的机理分析与工艺改进研究

杨文茂 , 吴志勇 , 李雪源 , 杜东兴

表面技术 doi:10.16490/j.cnki.issn.1001-3660.2016.04.034

目的 解决60Si2 Mn合金钢在化学氧化时生成的化学氧化膜颜色差异问题.方法 采用辉光放电光谱(GDS)分析不同氧化温度下制备的60Si2Mn化学氧化膜层成分及化学氧化膜的厚度,采用扫描电镜(SEM)观测氧化膜表面形貌,分析合金元素对化学氧化的影响,以及化学氧化温度对化学氧化膜厚度、成分含量及颜色的影响,改进60Si2 Mn化学氧化工艺.结果 不同化学氧化温度对60Si2 Mn化学氧化膜厚度及膜层中合金成分的含量有较大影响.不同化学氧化温度导致化学氧化膜厚度差异,化学氧化膜中合金成分Si、Mn氧化物含量差异导致60 Si2 Mn化学氧化膜颜色的差异.结论 相对于普通钢,化学氧化温度为(142±1)℃时,可以保证化学氧化膜厚度及Fe3O4含量的稳定,进而有效确保氧化膜的颜色一致性.

关键词: 60Si2Mn , 化学氧化 , 机理分析 , 辉光放电光谱 , 成分分析 , 表面形貌

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