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金属有机物分解法制备SrBi2Ta2O9铁电薄膜的开关特性

赵成 , 石竹南 , 毛翔宇 , 杨晓秋 , 陈小兵 , 张志刚 , 朱劲松

功能材料

用金属有机物分解(MOD)以及sol-gel方法制备了SrBi2Ta2O9(SBT)铁电薄膜.经测量在750℃晶化的SBT薄膜具有很好的铁电性能.通过对SBT样品极化反转过程进行测试,得到了外加电压(0.5~5V)与SBT薄膜的开关时间(100~600ns)及极化反转电荷的关系.并研究了不同气氛下退火对SBT铁电薄膜开关特性的影响.

关键词: 钽酸锶铋 , 电滞回线 , 极化反转 , 开关时间

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