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6H-SiC材料与器件辐照效应的研究进展

牟维兵 , 龚敏 , 杨治美

材料导报

介绍了6H-SiC材料和器件辐照效应研究的目的和方法,并对国内外最近几年的研究情况进行了介绍、分析和总结.指出目前的研究主要集中于辐射效应方面,但在抗辐射加固技术方面研究不足,国内应根据现有条件注重辐射效应机理方面的研究.

关键词: 6H-SiC , 辐照效应 , 研究现状 , 发展趋势