曹德峰
,
邢丕峰
,
韦建军
,
易泰民
,
杨蒙生
,
郑凤成
,
李朝阳
,
谢军
表面技术
doi:10.3969/j.issn.1001-3660.2011.06.025
采用直流磁控溅射技术,制备了厚度为3.8μm的Mo薄膜,并对其在不同温度下进行了退火处理.采用白光干涉仪和SEM对Mo薄膜进行了表征,讨论了不同温度对薄膜表面形貌的影响；利用XRD对M薄膜的结构进行了分析.结果表明:随着退火温度由450℃升高到1 050℃,晶粒平均尺寸逐渐增大,微曲应力呈减小趋势；在温度高于900℃时,薄膜发生再结晶,同时表面有微裂缝及大量气孔出现；薄膜的表面粗糙度随退火温度的升高有逐步增大的趋势.
关键词:
Mo薄膜
,
微观应力
,
退火温度
杨蒙生
,
邢丕峰
,
赵利平
,
李朝阳
,
高莎莎
,
郑凤成
,
易泰民
,
马小军
稀有金属材料与工程
纯Ti微台阶为ICF研究中重要的基础靶型,由于物理实验的高度精密性,传统加工方法不能满足靶制备需求.研究了纯Ti微台阶的精密扩散焊接技术,获得高质量的标准台阶,其表面粗糙度Rq＜100 nm、厚度一致性＜100 nm、界面连续无显微缺陷、晶体结构均匀,未检测出杂质.
关键词:
钛
,
微台阶
,
精密连接
谢军
,
邢丕峰
,
易泰民
,
赵利平
,
李朝阳
,
杨蒙生
,
郑凤成
,
张林
稀有金属材料与工程
氢化锂(LiH)是重要的热核材料,其状态方程参数是惯性约束聚变研究的重要内容.本工作采用真空热压技术制备氢化锂薄膜,在真空度小于5.0×10-4 Pa,温度450℃,升温速率10 ℃/min,采取分段加压、退火,获得了厚度小于100 μm、厚度一致性约98％的氢化锂薄膜,表面粗糙度小于100 nm,热压后密度增加,达到0.780 g/cm3.X射线衍射分析结果表明:薄膜的主要成分为氢化锂,薄膜存在择优取向、内应力、晶粒细化等特征.
关键词:
氢化锂
,
薄膜
,
热压
,
状态方程
曹德峰
,
万小波
,
邢丕峰
,
易泰民
,
杨蒙生
,
郑凤成
,
徐导进
,
王昆黍
,
楼建设
表面技术
利用直流磁控溅射技术在单晶Si(110)基底上制备Mo薄膜,分析了工作气压对沉积速率、表面质量及微观结构的影响.结果表明:薄膜的沉积速率随压强的增大而增加；低气压下沉积的Mo薄膜表面质量较好且结构致密,高气压下沉积的Mo薄膜表面质量较差且结构疏松；在工作气压为0.8Pa时,制备的Mo薄膜晶粒尺寸与微观应力值最小.
关键词:
Mo薄膜
,
直流磁控溅射
,
工作气压
,
晶粒尺寸
,
微观应力
宋言红
,
李裕
,
易勇
,
罗江山
,
杨蒙生
,
李恺
,
雷海乐
材料热处理学报
以自悬浮定向流技术制备的纳米Al粉末为原料,采用真空热压技术制得了平均晶粒尺寸为90 ～ 123 nm的纳米晶Al块体.通过XRD、SEM和显微硬度测试研究了热压温度和热压压力对纳米晶Al的微观结构和显微硬度的影响.结果表明:各纳米晶Al块体的显微硬度分布在0.8～1.98 GPa范围内.不同的热压温度和热压压力范围内,不同的固结机理主导着纳米晶Al的致密化过程.由于受致密度、晶粒尺寸、微观应变、杂质氧化铝结构等因素的共同影响,纳米晶Al的显微硬度随热压温度的升高先增大后减小,随热压压力的增大表现出先快后慢的增长.低密度块体表现出明显的压痕尺寸效应,而高密度块体并没有表现出这种现象.
关键词:
纳米晶铝
,
热压
,
微观结构
,
显微硬度
,
压痕尺寸效应
