段钢锋
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赵高凌
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林小璇
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吴历清
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杜丕一
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翁文剑
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汪建勋
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韩高荣
功能材料
在普通玻璃基板上利用常压化学气相沉积法在580℃条件下制备得到了氮化钛薄膜.对薄膜的结晶性能、断面形貌、方块电阻以及光学透过率和反射率进行了研究.随着沉积时间的增长,薄膜由单层结构变为一种特殊的双层结构,这种双层结构的形成是沉积过程中气相成核机制引起的.光谱结果显示制备得到的薄膜具备一定的阳光控制性能.然而,双层薄膜的红外反射率随沉积时间的增长迅速降低,影响了其阳光控制性能.
关键词:
氮化钛
,
常压化学气相沉积法
,
沉积时间
,
结构
,
阳光控制性能
