李昌荣
,
王向晖
,
郑志宏
,
林梓鑫
,
俞柳江
,
张峰
,
柳襄怀
,
陈安清
,
蒋振斌
功能材料与器件学报
doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2002.01.015
主要报导了热解碳的氮离子注入处理、等离子体浸没离子注入及其血液相容性.用卢瑟福背散射、X射线衍射和喇曼光谱法分析样品的成份及结构.测试了注入前后热解碳样品的血小板粘附性能,经过注入处理的样品表面粘附较少的血小板,而且较少团簇及变形,优于临床应用的热解碳.蛋白质竞争吸附实验结果表明热解碳经PIII处理后,表面会吸附较多的白蛋白、较少的纤维蛋白原,具有更好的抗凝血性能.
关键词:
热解碳
,
离子注入
,
血液相容性
柳襄怀
,
郑志宏
,
黄巍
,
林梓鑫
,
邹世昌
中国腐蚀与防护学报
用多次扫描循环极化法研究经离子束表面改性的Ni_3Al(0.1B)在H_2SO_4溶液中的腐蚀行为。电化学测试和表面形貌的观察结果表明,离子注入、离子束混合和离子束辅助沉积技术对减缓Ni_3Al(0.1B)在用氧气饱和的1N H_2SO_4溶液中的腐蚀和改善钝化性能很有效果。
关键词:
郑望
,
陈猛
,
陈静
,
林梓鑫
,
王曦
功能材料与器件学报
doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2001.04.023
用 Secco法、 Cu-plating法分别表征了低剂量 SIMOX圆片顶层硅线缺陷、埋层的针孔密度 . 结果显示 , 低剂量 SIMOX圆片的顶层硅缺陷密度低 , 但埋层质量稍差 . 通过注入工艺和退火过 程的进一步优化 , 低剂量 SIMOX将是一种有前途的 SOI材料制备工艺 .
关键词:
SOI
,
SIMOX
,
Secco
,
Cu-plating
,
线缺陷
邢玉梅
,
俞跃辉
,
林梓鑫
,
宋朝瑞
,
杨文伟
功能材料与器件学报
doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2004.03.010
采用离子束合成法,将p型(100)单晶硅衬底加热并保持在700℃的条件下分别进行剂量为8.0×1017cm-2和9.0×1017cm-2的C+注入,随后在氩气保护下经1250℃退火5h后形成β-SiC埋层.借助红外反射光谱、卢瑟福背散射能谱以及高分辨透射电镜等测试手段,对退火前后碳化硅埋层的组分及结构进行了表征分析,结果证明形成的碳化硅埋层结晶质量较好,并与硅衬底呈良好的外延关系.
关键词:
碳化硅
,
离子束合成
,
埋层
