靳瑞敏
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蔡志端
,
苍利民
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阎韬
,
徐建军
,
栗书增
人工晶体学报
本文用PECVD法在石英玻璃上沉积非晶硅薄膜,然后用快速光退火和传统电阻炉退火方法晶化生长多晶硅薄膜,用拉曼光谱仪、XRD和场发射扫描电镜观察分析薄膜,发现在制备的多晶硅薄膜表面存在结晶团现象,并对这一现象的晶化机理进行了分析.
关键词:
非晶硅薄膜
,
二次晶化
,
多晶硅薄膜
,
结晶团现象
,
晶化机理
靳瑞敏
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蔡志端
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苍利民
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阎韬
,
徐建军
,
栗书增
材料科学与工程学报
以正硅酸乙酯(TEOS)为有机硅源,采用溶胶-凝胶技术,通过调节添加剂控制溶胶溶液性能,然后分别用光固化和传统电阻炉固化两种不同的热处理方案,制备出低折射率SiO2光学减反薄膜.分别采用椭偏仪、扫描电镜等对所制备薄膜的结构、物性进行研究.研究结果表明:光固化比传统电阻炉固化减反膜折射率低.
关键词:
溶胶-凝胶SiO2薄膜
,
光固化
,
传统电阻炉固化
,
表面结构
,
折射率
