黄德文
,
游利兵
,
梁勖
,
余吟山
量子电子学报
doi:10.3969/j.issn.1007-5461.2009.01.007
针对光刻用准分子激光器的激励技术,利用拉普拉斯变换方程对脉冲变压器高压充电过程进行了分析,验证了耦合系数于与压缩高压充电时间的重要作用.耦合系数越接近于1,高压充电时间越短.介绍了充电电路与磁开关结合后完成快放电的过程,并提出了一种控制谐振充电的方法.实现了对高压电容50μs内的快充电.
关键词:
激光技术
,
脉冲升压式电源
,
拉普拉斯变换
,
高重复率
,
光刻
游利兵
,
周翊
,
梁勖
,
余吟山
,
方晓东
,
王宇
量子电子学报
doi:10.3969/J.issn.1007-5461.2010.05.002
193nm ArF准分子激光光刻技术已广泛应用于90 nm以下节点半导体量产.分析了近期发展用于改进准分子激光性能的关键技术:主振-功率再生放大(MOPRA)结构,主振-功率振荡(MOPO)结构,主动光谱带宽稳定技术,先进的气体管理技术.对光刻用准分子激光光源技术发展趋势进行了简要的讨论.
关键词:
激光技术
,
ArF准分子激光
,
光刻
,
双图形
高健
,
方晓东
,
梁勖
,
马跃
,
吴本科
量子电子学报
doi:10.3969/j.issn.1007-5461.2014.01.014
实验研究了308 nm准分子激光皮肤治疗仪激光传输系统中光纤的传输特性.比较了紫外扩展型液芯光纤、集束石英光纤、普通液芯光纤三种不同类型的光纤在不同的激光输出功率、工作时间等条件下的传输效率,紫外扩展型液芯光纤的传输效率达到70％;测量和分析了在激光传输过程中液芯光纤对激光光强分布的改善和匀光作用,输出光束光场均匀性小于士4.5％.实验表明,基于液芯光纤的激光传输系统对于308 nm紫外激光具有较好的激光传输效率、匀光效果和工作稳定性.
关键词:
激光技术
,
准分子激光器
,
传输率
,
液芯光纤
,
光学传输系统
,
匀光
梁勖
,
游利兵
,
余吟山
量子电子学报
doi:10.3969/j.issn.1007-5461.2010.03.005
介绍了一种基于热释电探头的准分子激光能量检、测系统,实现了对0～200 Hz重复率运行的准分子激光单个脉冲及多脉冲系列的能量实时检测.它由探头、放大、峰值保持、MCU、显示和通讯几部分组成,解决了闸流管放电强电磁干扰等难点,并在193 nmArF和248 nmKrF准分子激光器上进行了测试:响应时间4ms、分辨率10μJ、灵敏度O.5 V/mJ、精度±3%.本系统既可作为能量计使用,也可以作为检测环节用于脉冲能量闭环稳定系统中,如采用响应速度更高的光电管,有望实现高重复率准分子激光光源的实时脉冲能量检测和稳定等技术.
关键词:
激光技术
,
准分子激光
,
热释电
,
能量反馈
,
实时检测
