黑立富
,
唐伟忠
,
樊凤玲
,
耿春雷
,
吕反修
人工晶体学报
doi:10.3969/j.issn.1000-985X.2005.05.007
本文介绍了利用线形同轴耦合式微波等离子体CVD法在硬质合金微型钻头(微钻)上沉积金刚石涂层的初步实验结果.微型钻头的直径为0.5mm,其中WC晶粒的尺寸约为0.5μm.在沉积前,先用Murakami溶液(10gKOH+10gK3[Fe(CN)6]+100ml H2O)对微钻刻蚀10min,使其表面粗化,然后用硫酸-双氧水溶液(10ml98wt%H2SO4+100ml 38%m/vH2O2)对其浸蚀60s,以去除其表面的Co.在金刚石涂层过程中发现,由于微钻尖端在微波电磁场中产生较集中的辉光放电现象,因而在微钻尖端很难获得金刚石涂层.针对这种金刚石涂层过程中的"尖端效应",尝试使用了金属丝屏蔽的方法以改变微钻周围的微波电磁场分布,克服了上述金刚石涂层过程中的"尖端效应",首次成功地采用微波等离子体CVD法在微钻上沉积了厚度为1.5μm的金刚石涂层.
关键词:
金刚石涂层
,
微钻
,
线形微波等离子体CVD设备
樊凤玲
物理测试
钢铁企业检化验系统是保障企业产品质量的重要环节,检化验系统设计的优劣将对检化验工作产生直接的影响。介绍了钢铁企业检化验系统设计的新亮点,这些设计亮点的采用,弥补了原先设计中的不足,适应了生产的需要,使检化验结果的反馈更加精确快速,数据管理更加高效有序,试验操作更加安全环保,已成为钢铁企业检化验系统设计的新趋势。
关键词:
设计新亮点
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集中设置
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全自动检测分析
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环保措施
,
数据管理
