殷聪朋
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管伟明
,
张俊敏
,
刘洪江
,
陈勇
,
张昆华
贵金属
采用射频磁控溅射技术制备了Ru-B薄膜，利用掠入射X射线衍射(GIXRD)、高分辨透射电子显微镜(HRTEM)、原子力显微镜(AFM)等分析技术对薄膜的相结构、沉积速率以及表面形貌进行了研究分析。结果表明：在室温下制备的 Ru-B 薄膜均为非晶态。薄膜的沉积速率不随溅射时间变化，但随溅射功率的增加而增大。薄膜表面光滑致密质量良好，随着溅射时间的延长，薄膜表面晶粒大小和粗糙度增大。溅射功率影响着基片表面粒子的形核长大和迁移扩散速率，进而影响薄膜的表面形貌。
关键词:
金属材料
,
超硬薄膜
,
磁控溅射
,
Ru-B薄膜
,
表面形貌
刘洪江
,
潘勇
,
管伟明
,
张昆华
,
殷聪朋
,
杜怡霖
稀有金属
doi:10.3969/j.issn.0258-7076.2013.04.019
过渡金属硼化物因其具有超硬特性而受到人们的关注,有望广泛应用于切屑加工工具、耐磨涂层、研磨材料等领域.介绍了制备过渡金属硼化物块体和薄膜材料的主要方法,并总结了部分过渡金属二元硼化物的结构和性能.不同过渡金属硼化物的结构不同,属于单斜、正交、六方等晶系；过渡金属硼化物薄膜材料的厚度在1μm以下；其硬度高于块体材料的硬度,达到超硬水平；但制得的过渡金属硼化物块体材料的硬度并不理想,与金刚石和立方氮化硼相比尚有一定的差距,还需进一步改进材料设计理念和探索新的制备方法.
关键词:
过渡金属硼化物
,
超硬材料
,
制备方法
,
结构
,
性能
