毛胜平
,
汪红
,
刘瑞
,
汤俊
,
李雪萍
,
丁桂甫
功能材料
利用LIGA或UV-LIGA技术制备的镍,特别适合作为微器件的结构材料.材料的力学性能在微器件的仿真设计和实际使用中起到重要作用.主要利用常规的力学试验机和自行搭建的微拉伸平台,通过单轴拉伸方法测试了电流密度为20mA/cm~2的UV-LIGA镍薄膜的力学性能.3种测试方法的结果呈现了一致的规律性变化--弹性模量显著降低,强度显著提高,表明UV-LIGA镍具有与块体镍显著不同的力学性能.通过X射线衍射分析(XRD),测量了该电流密度下试样的择优取向和晶粒尺寸,通过场发射扫描电镜(SEM)观察了试样的表面形貌和拉伸断口,并初步地分析了UV-LIGA镍力学性能的变化原因.该测试结果为微器件的仿真设计提供了重要的参考依据.
关键词:
MEMS
,
UV-LIGA镍
,
电沉积
,
力学性能
,
单轴拉伸
张颖
,
汪红
,
毛胜平
,
戴旭涵
,
丁桂甫
功能材料与器件学报
本文主要介绍了一种闭锁电热微开关的制备及性能测试.利用双层膜电热微驱动器,基于双悬臂梁的结构设计,实现开关的驱动和闭锁.采用MEMS表面徼加工技术完成所设计微开关器件的制备,并对其进行性能测试.结果表明,施加的脉冲电信号的最佳占空比为10％,并测得电阻丝能承受的最大功耗为90mW,单臂粱的翘曲高度为58 μm,所得结果能够满足设计的闭锁电热微开关的工作需要.将本次设计的微开关连接到外接电路中,并施加时序双脉冲电信号,测得了外接电路的导通信号.
关键词:
电热驱动
,
机械锁定
,
MEMS微加工工艺
,
时序双脉冲电信号
