缪灿锋
,
翟荣安
,
储成智
,
汝长海
电镀与涂饰
介绍了一种基于超声喷涂的电路印刷方法,适用于各种柔性材质的基体,可以更高效、更环保地完成柔性印刷电路(FPC)的制造.其主要思想是:纳米银导电油墨通过超声喷头雾化,进而喷涂在覆盖有金属掩膜版的聚酰亚胺(PI)膜基体上,低温烧结(125℃×20 min)之后就得到柔性电路.测试结果表明,图案化的导电线路(宽度为500 μm)经过多次弯曲后仍能保持良好的导电性,其表面方阻随喷涂层数的增多而稳定地减小,8层涂覆所得线路的方阻为(2l±2)mΩ/sq.扫描电镜观察表明,导电线路平整光滑,毛边误差在50 μm以内.
关键词:
电路
,
柔性印刷
,
聚酰亚胺薄膜
,
纳米银
,
导电油墨
,
超声喷涂
,
方阻
翟荣安
,
缪灿锋
,
魏顶
,
储成智
,
汝长海
电镀与涂饰
在自主搭建的压电雾化喷涂系统上,以RZJ-304正性光刻胶为研究对象,圆形抛光硅片为基材,研究了稀释体积比、预热温度以及喷涂层数对光刻胶薄膜平均厚度及均匀性的影响,并得到最佳工艺参数.以具有方形结构的抛光硅片为基材,分别进行压电雾化喷涂法和离心旋转法涂胶,并进行图案光刻,结果表明压电雾化喷涂法可以在非圆形形貌上得到清晰完整的图案,克服了传统离心旋转法无法在非圆形面上涂胶的缺陷,验证了压电雾化喷涂法在非圆形形貌应用中的可行性.
关键词:
正性光刻胶
,
压电雾化喷涂
,
平均厚度
,
均匀性
,
抛光硅片
,
方形结构
