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ITO透明导电薄膜的制备方法及研究进展

江自然

材料开发与应用 doi:10.3969/j.issn.1003-1545.2010.04.017

概述了透明导电薄膜的分类及ITO薄膜的基本性质,综述了用于制备ITO薄膜的磁控溅射法、真空蒸发法、溶胶.凝胶法、喷雾热解法、化学气相沉积法,论述了不同制备方法的优缺点.最后,介绍了ITO薄膜的应用现状,并对ITO薄膜的发展趋势进行了展望.

关键词: ITO薄膜 , 透明导电薄膜 , 制备方法 , 研究进展